一种拼接光栅对准精度检测方法

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本发明涉及拼接光栅，具体涉及一种拼接光栅对准精度检测方法，在双光束干涉光刻光路中，将待检测拼接光栅置于双光束干涉场并与虚光栅重叠，通过调节待检测拼接光栅姿态，使得重叠区域中虚实光栅干涉在实光栅表面产生的莫尔条纹为零条纹，将实光栅调节至与虚光栅平行位置；平行移动待检测拼接光栅，找到两个光束分别经拼缝两侧实光栅产生的衍射光强相等的交点，利用交点计算拼缝两侧实光栅的对准精度；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的不能对拼接光栅的对准精度进行准确检测的缺陷。