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半导体结构及其制备方法
摘要文本
本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及其制备方法,半导体结构包括:基底,所述基底上具有间隔排布的电容接触窗,每一所述电容接触窗包括层叠的第一导电层以及第二导电层,所述第二导电层位于所述第一导电层的部分表面,所述第一导电层的材料与所述第二导电层的材料不同;下电极板,所述下电极板位于所述电容接触窗上,所述下电极板与未被所述第二导电层覆盖的所述第一导电层的顶面的至少部分以及所述第二导电层的侧面和顶面的至少部分电接触。本公开实施例提供的半导体结构及其制备方法有利于提高下电极板与电容接触窗的接触性能。
申请人信息
- 申请人:长鑫新桥存储技术有限公司
- 申请人地址:230601 安徽省合肥市经济技术开发区新淮大道2788号
- 发明人: 长鑫新桥存储技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 半导体结构及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410021631.5 |
| 申请日 | 2024/1/8 |
| 公告号 | CN117529104A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H10B12/00 |
| 权利人 | 长鑫新桥存储技术有限公司 |
| 发明人 | 宛伟 |
| 地址 | 安徽省合肥市经济技术开发区新淮大道2788号 |
专利主权项内容
1.一种半导体结构,其特征在于,包括:基底,所述基底上具有间隔排布的电容接触窗,每一所述电容接触窗包括层叠的第一导电层以及第二导电层,所述第二导电层位于所述第一导电层的部分表面,所述第一导电层的材料与所述第二导电层的材料不同;下电极板,所述下电极板位于所述电容接触窗上,所述下电极板与未被所述第二导电层覆盖的所述第一导电层的顶面的至少部分电接触,所述下电极板与所述第二导电层的侧面和顶面的至少部分电接触。