一种薄膜铌酸锂集成化光引擎

专利主权项内容

1.一种薄膜铌酸锂集成化光引擎，包括从下至上依次层叠的衬底、下包层和铌酸锂薄膜波导芯层，所述铌酸锂薄膜波导芯层成型有波导形式的起偏单元、多模干涉器，其中多模干涉器包括多模干涉区以及连接于多模干涉区一侧的分束光输出波导、连接于多模干涉区另一侧的输入波导和干涉光输出波导，所述起偏单元的始端设于铌酸锂薄膜波导芯层一侧，所述多模干涉器的输入波导与起偏单元末端连接，铌酸锂薄膜波导芯层还设有相位调制单元，相位调制单元用于调制多模干涉器中分束光输出波导输出的分束光信号，其特征在于，所述铌酸锂薄膜波导芯层对应于起偏单元起始段周围位置、弯曲半径小于100um的波导弯曲段周围位置分别设有隔离单元，每个隔离单元包括通过质子交换法成型于铌酸锂薄膜波导芯层中的质子交换介质柱阵列，以及设于铌酸锂薄膜波导芯层表面对应质子交换介质柱阵列位置的电极；所述质子交换介质柱阵列中每个质子交换介质柱的折射率均高于周围未经质子交换法交换的铌酸锂薄膜波导芯层相应区域的折射率，由每个隔离单元中的质子交换介质柱阵列在所在位置对串扰光反射，每个隔离单元中的电极接地，由电极对对应位置质子交换介质柱阵列形成的反射光进行电吸收，由此使每个隔离单元在所在位置形成光信号隔离。