样品台扫描位点的复位控制方法、装置及系统和存储介质

专利主权项内容

1.一种样品台扫描位点的复位控制方法，其特征在于，用于在调节样品台的倾角后控制样品台的扫描位点的自动复位；所述样品台的空间位置由三轴平移组件、旋转轴以及倾斜轴控制；所述样品台扫描位点的复位控制方法包括：获取所述样品台倾角调节前，所述样品台上目标扫描点的三轴等效坐标参数、所述倾斜轴的倾斜角以及所述旋转轴的旋转角中的至少部分信息；以及，获取所述样品台倾角调节后，所述倾斜轴的倾斜角和所述旋转轴的旋转角；根据所述样品台倾角调节前所述目标扫描点的三轴等效坐标参数、所述倾斜轴的倾斜角以及所述旋转轴的旋转角中的至少部分信息，和所述样品台倾角调节后所述倾斜轴的倾斜角和所述旋转轴的旋转角，确定所述三轴平移组件的复位位移量；根据所述复位位移量控制所述三轴平移组件的移动，以使样品台的扫描位点复位至样品台倾角调节前的位置。