一种晶圆吸附装置及晶圆加工机

专利主权项内容

1.一种晶圆吸附装置，包括第一限位安装板，其特征在于：所述第一限位安装板的下表面设置有限位输气管，限位输气管远离第一限位安装板的一端设置有第一弹性吸附管，第一限位安装板的上表面设置有与限位输气管相对应的气压控制器，限位输气管的顶部设置有调节机构，调节机构的顶部设置有加固机构，调节机构包括第二可调节输气管，第二可调节输气管与限位输气管密封滑动连接，第二可调节输气管的底部固定连接有第三弹性吸附管，第二可调节输气管的顶部固定连接有第二限位圆环，第二可调节输气管的上方设置有与限位输气管固定连接的限位防护罩，限位防护罩的顶部设置有用于配合第二限位圆环对第二可调节输气管起到高度调节作用的第二高度调节件。