一种刻蚀机等离子清洗装置

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马-克-数据 。本发明公开了一种刻蚀机等离子清洗装置，属于清洗装置技术领域，包括清洗机本体，所述清洗机本体的侧面设置有供气机构，供气机构包括防护外壳、用于对空气起到净化作用的供气组件、若干个用于对空气起到净化作用的除尘组件、用于对空气起到干燥隔净化作用的干燥组件、用于配合供气组件对除尘组件和干燥组件起到高度调节作用的传动组件，供气组件设置在防护外壳的底部，传动组件设置在供气组件的顶部；本发明可以实现供气机构的自清理，避免供气机构由于杂物的不断积攒而无法正常工作，使供气机构长时间保持在高效的处理状态，从而不需要用户频繁的对清洗装置进行维护，提升清洗装置的可靠性。