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一种基于横向丹倍效应的光电探测器及其制备方法
摘要文本
本发明公开一种基于横向丹倍效应的光电探测器及其制备方法，涉及半导体光电探测器领域。本发明在倾斜单晶衬底上生长倾斜外延层，在倾斜外延层上表面制备图形化金属电极对，在金属电极上采用高温银胶连接金属导线的一端，将金属导线另一端与电压信号采集装置相连接；倾斜外延层的晶轴与法线之间存在夹角，通过倾斜单晶衬底和倾斜外延层的横向丹倍效应实现高响应度的光电探测，解决了现有光电探测器需要施加偏压、操作复杂、稳定性差、灵敏度低、易受到环境干扰等问题。本发明基于横向丹倍效应的光电探测器在光照下产生电压信号，相比于电流信号稳定性更好，相比于横向热电效应的光电探测器具有更高的灵敏度，为复杂环境下的光电探测提供了可能。。来源：百度搜索
申请人信息
- 申请人:山东大学
- 申请人地址:264209 山东省威海市环翠区文化西路180号
- 发明人: 山东大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于横向丹倍效应的光电探测器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410037938.4 |
| 申请日 | 2024/1/11 |
| 公告号 | CN117558801A |
| 公开日 | 2024/2/13 |
| IPC主分类号 | H01L31/103 |
| 权利人 | 山东大学 |
| 发明人 | 王勇; 黄亚辉; 王昆仑; 张燕 |
| 地址 | 山东省济南市山大南路27号 |
专利主权项内容
1.一种基于横向丹倍效应的光电探测器，其特征在于，包括：倾斜单晶衬底、倾斜外延层、金属电极对、金属导线以及电压信号采集装置；所述倾斜外延层位于所述倾斜单晶衬底上表面；所述倾斜单晶衬底和倾斜外延层的倾斜角度为所述倾斜外延层的晶轴与法线之间的夹角；所述金属电极对的两个金属电极分别位于所述倾斜外延层上表面的两端部；每个金属电极均连接一根金属导线；所述电压信号采集装置用于采集两根金属导线输出的电压信号；所述电压信号由倾斜外延层的横向丹倍效应产生。 更多数据：