半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组
摘要文本
本发明涉及冷却水换热机组技术领域，具体为半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组，包括外壳，外壳的内侧固定连接有同轴设置的装载架；还包括换热筒，两个所述换热筒对称固定安装在装载架的两侧，所述换热筒上下两侧分别固定连通有上连接管和下连接管的管口，并且下连接管的进水端口固定连通在第二泵机上，而且第二泵机固定连接在所述外壳底部远离第一泵机的一侧，所述装载架两侧收纳槽内均滑动设置有主换热台，且主换热台位于两个换热筒之间，并且主换热台上活动安装有副换热台。本发明设置有双重展开结构的多流道换热块，从而提高了装置的的换热面积，且换热块展开的过程中还能够对装置换热结构表面进行清理。
申请人信息
- 申请人:山东汉华工业设备有限公司
- 申请人地址:255086 山东省淄博市高新区先进制造产业创新园13号
- 发明人: 山东汉华工业设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410162248.1 |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN117704876A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | F28D21/00 |
| 权利人 | 山东汉华工业设备有限公司 |
| 发明人 | 郭通 |
| 地址 | 山东省淄博市高新区先进制造产业创新园13号 |
专利主权项内容
1.半导体行业工艺冷却水热能回收换热机组，包括：外壳(1)，其底部固定安装有第一泵机(2)，连接阀管(3)固定贯穿于所述外壳(1)的底部设置，所述外壳(1)的内侧固定连接有同轴设置的装载架(4)；其特征在于，还包括：换热筒(5)，设置有两个，两个所述换热筒(5)对称固定安装在所述装载架(4)的两侧，所述换热筒(5)上下两侧分别固定连通有上连接管(7)和下连接管(6)的管口，且下连接管(6)和上连接管(7)固定贯穿于所述外壳(1)的侧壁设置，并且下连接管(6)的进水端口固定连通在第二泵机(10)上，而且第二泵机(10)固定连接在所述外壳(1)底部远离第一泵机(2)的一侧，所述装载架(4)两侧收纳槽内均滑动设置有主换热台(8)，且主换热台(8)位于两个换热筒(5)之间，并且主换热台(8)上活动安装有副换热台(9)；动力杆(16)，其滑动贯穿安装在所述装载架(4)的顶部轴线处，所述动力杆(16)经过所述上连接管(7)的环管部分，所述动力杆(16)上端贯穿于塞筒(20)的底部，两者同轴设置，且塞筒(20)的外壁贴合设置在外筒(19)的内壁上形成滑动升降结构，并且外筒(19)底部固定连接在所述外壳(1)的顶部，所述外壳(1)顶部的水平缓冲筒内滑动设置有缓冲塞(35)，且缓冲塞(35)的塞面通过弹簧弹性连接在所述外壳(1)水平缓冲筒的内壁上，所述外壳(1)顶部远离缓冲塞(35)的一侧固定贯通安装有水平的排水管(25)，且排水管(25)的内壁上贴合设置有控制盘(26)。