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一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置

申请号: CN202410234171.4
申请人: 山东华美新材料科技股份有限公司
申请日期: 2024/3/1

摘要文本

本发明涉及碳化硅陶瓷生产技术领域,尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置,包括有支撑座,所述支撑座固接有第一安装壳,所述第一安装壳转动连接有密封门,所述第一安装壳连通有进风管,所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳,所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板,所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板,所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接,所述第一滑动板开设有孔。本发明通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动,对晶舟下侧的出风位置进行替换,通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑,使晶舟在烘干的过程中烘干均匀,防止影响产品质量。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置
专利类型 发明申请
申请号 CN202410234171.4
申请日 2024/3/1
公告号 CN117824316A
公开日 2024/4/5
IPC主分类号 F26B11/18
权利人 山东华美新材料科技股份有限公司
发明人 王明峰; 王东; 石金旺; 李伟强; 王强; 石威; 尹东胜; 王进; 李雷宽
地址 山东省潍坊市坊子区北大营街3号院内

专利主权项内容

1.一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置,其特征在于,包括有支撑座(1),所述支撑座(1)固接有第一安装壳(101),所述第一安装壳(101)转动连接有密封门(102),所述第一安装壳(101)连通有进风管(103),所述进风管(103)与外部热风机连通,所述第一安装壳(101)固接有排风管(104),所述第一安装壳(101)内侧固接有第二安装壳(105),所述排风管(104)与所述第二安装壳(105)连通,所述第二安装壳(105)固接有矩形阵列分布的第一固定板(2),所述第二安装壳(105)滑动连接有等间距分布的第一滑动板(201),所述第一固定板(2)与相邻的所述第一滑动板(201)密封滑动连接,所述第一滑动板(201)开设有孔,所述第二安装壳(105)固接有等间距分布的固定块(202),所述第一滑动板(201)与相邻的所述固定块(202)密封滑动连接,所述第二安装壳(105)开设有等距分布的通孔,所述第二安装壳(105)通过其上的通孔密封滑动连接有对称且等间距分布的滑动件(203),所述第一滑动板(201)与相邻且对称分布的所述滑动件(203)固接,所述固定块(202)、相邻所述第一滑动板(201)和所述第二安装壳(105)之间形成的腔体通过所述第二安装壳(105)上的通孔与外侧连通,所述支撑座(1)设置有用于带动所述滑动件(203)滑动的动力组件。