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无光引发剂的光刻胶的制备方法
摘要文本
本发明涉及光刻胶制备技术领域，具体关于无光引发剂的光刻胶的制备方法；本发明制备的光刻胶，具有分子结构明确、分子量单分散和分子尺寸均一等特点，甲基二乙氧基硅烷中的硅‑氢键首先与反‑1, 1, 4, 4‑四甲氧基‑2‑丁烯的双键加成，形成一个新的碳‑碳键，同时生成一个硅醇基团；这个硅醇基团再与叠氮基聚乙二醇丙烯酸酯反应，生成含二乙氧基的交联剂；叠氮基的氮原子具有很强的正电性，可以与硅醇基团中的氧原子形成配位键；这个配位键可以促进硅醇基团与另一个叠氮基的反应，从而形成碳‑氮键，生成含叠氮基的缩水甘油醚交联剂；能够形成稳定的碳‑碳键和碳‑氮键，增加光刻胶的交联程度和稳定性。 来自马-克-数-据
申请人信息
- 申请人:烟台舜康生物科技有限公司
- 申请人地址:265200 山东省烟台市莱阳市经济技术开发区峨嵋路2号
- 发明人: 烟台舜康生物科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 无光引发剂的光刻胶的制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410245695.3 |
| 申请日 | 2024/3/5 |
| 公告号 | CN117826532A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | G03F7/004 |
| 权利人 | 烟台舜康生物科技有限公司 |
| 发明人 | 陈化群; 陈柄坤 |
| 地址 | 山东省烟台市莱阳市经济技术开发区峨嵋路2号 |
专利主权项内容
1.无光引发剂的光刻胶的制备方法，其特征在于：其操作步骤为：按照重量份，称取10-15份四氟硼酸双［2′, 3, 3″, 4, 4″-五羟基-(1, 1′, 3′, 1″-三联苯基)-5′-基］甲基硫鎓盐、5-10份聚烷撑乙二醇、1-3份叠氮基聚乙二醇交联剂、50-70份溶剂，搅拌混合，得到无光引发剂的光刻胶。