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裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件与流程

时间:2022-02-24 阅读: 作者:专利查询

裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件与流程

1.本发明有关于一种裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件,尤指一种在电子元件的工艺中对待加工物进行裁切的裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件。


背景技术:

2.已知在制造电子元件的过程中,常需将一片待加工物分切成多个晶片,以利后续再加工为电子元件;以制造被动元件为例,需对例如陶瓷基板的待加工物分别进行裁切工艺与切割工艺,以令该待加工物被分切成多个晶片;所谓的裁切工艺是将待加工物载置于裁切设备的裁切载台上,并以该裁切设备的切刀对该待加工物的边缘进行修边处理,使该切刀可切除该待加工物的边缘的不整齐部分,以将该待加工物裁切成预设尺寸的矩形;所谓的切割工艺是在修边后的该待加工物的底部粘附胶膜,并将该待加工物连同该胶膜一同载置于切割设备的切割载台上,使该切割设备的切刀对该待加工物进行分切处理,将该待加工物分切成数个晶片但不切断该胶膜,使被分切的数个晶片可留置在该胶膜上不致散离。


技术实现要素:

3.已知在进行切割工艺时,因切刀仅切断待加工物,并不会切断待加工物底部的胶膜,故基本上切刀是不会与切割载台有所接触;但在进行裁切工艺时,因切刀在切断待加工物后会直接触及裁切载台,造成切刀与裁切载台两者的损伤,故在使用一段时间后需对切刀与裁切载台进行更换以维持裁切的品质,不仅耗材成本增加,在更换切刀与裁切载台后因需重新进行位置校正,亦浪费了许多时间成本。
4.因此,本发明的目的在于提供一种可减少切刀直接触及载台的裁切方法。
5.本发明的另一目的在于提供一种用以执行如所述裁切方法的设备。
6.本发明的又一目的在于提供一种使用如所述裁切方法的辅助元件。
7.依据本发明目的的裁切方法,包括:提供一切刀;提供一载台,供一辅助元件载置;该辅助元件设有一第一面与一第二面于该辅助元件的两侧;使该辅助元件的该第一面附着于该载台上,并使一待加工物载置于该辅助元件的该第二面上;使该切刀对该辅助元件上的该待加工物进行裁切,该切刀切断该待加工物但不切断该辅助元件。
8.依据本发明另一目的的裁切设备,包括:用以执行如所述裁切方法的设备。
9.依据本发明又一目的的辅助元件,使用于如所述裁切方法。
10.本发明实施例的裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件,提供该辅助元件在该载台与该待加工物的间,当该切刀对该待加工物进行裁切时,该切刀可切断该待加工物但不会直接触及该载台,可减少该切刀与该载台的损伤。
附图说明
11.图1是本发明实施例中裁切设备的立体示意图。
12.图2是本发明实施例中辅助元件与载台装置配置关系的示意图。
13.图3是本发明实施例中第二遮罩机构的示意图。
14.图4是本发明实施例中待加工物与送料仓装置配置关系的示意图。
15.图5是本发明实施例中送料仓装置的示意图。
16.图6是本发明实施例中预热装置与送料仓装置配置关系的示意图。
17.图7是本发明实施例中待加工物与收料仓装置配置关系的示意图。
18.图8是本发明实施例中收料仓装置的示意图。
19.图9是本发明实施例中装卸载装置的示意图。
20.图10是本发明实施例中裁切装置的示意图。
21.图11是本发明实施例中刷扫装置的示意图。
22.图12是本发明实施例中刷扫装置设于机架上的示意图。
23.图13是本发明实施例中切刀朝待加工物向下位移的示意图。
24.图14是本发明实施例中切刀裁切待加工物的示意图。
25.图15是本发明实施例中待加工物被切断的示意图。
26.图16是本发明另一实施例中待加工物的示意图。
27.图17是本发明另一实施例中待加工物被切断的示意图。
28.【符号说明】
29.a:机体
30.a1:机台
31.a11:台面
32.a111:落料区间
33.a2:罩壳
34.a21:操作区间
35.b:载台装置
36.b1:载台
37.b11:载置面
38.b111:吸孔
39.b2:轨座
40.b21:驱动器
41.b22:移动座
42.b3:旋转座
43.b4:第一遮罩机构
44.b41:内遮框
45.b42:外遮框
46.b421:排料区间
47.b5:第二遮罩机构
48.b51:遮带
49.b52:卷收器
50.b53:支撑架
51.b531:滚轮
52.c:送料仓装置
53.c11:送料滑轨
54.c12:送料拖座
55.c121:送料拖座开口
56.c122:送料限位件
57.c13:送料握把
58.c14:送料升降板
59.c141:送料让位口
60.c15:框盒
61.c151:进风区间
62.c152:滚轮
63.c2:热风机构
64.c21:发热块
65.c211:通孔
66.c22:风扇
67.c3:送料升降机构
68.c31:第一送料载座
69.c311:第一送料支撑件
70.c312:第二送料支撑件
71.c32:第二送料载座
72.c33:第三送料载座
73.c34:第四送料载座
74.c35:送料驱动单元
75.c351:送料轴杆
76.c352:送料驱动器
77.c353:送料驱动杆
78.d:预热装置
79.d1:加热机构
80.d11:加热座
81.d111:上表面
82.d112:沟槽
83.d12:座架
84.d2:平移机构
85.d21:第一驱动单元
86.d22:第二驱动单元
87.e:收料仓装置
88.e1:收料拖架
89.e11:收料滑轨
90.e12:收料拖座
91.e121:收料拖座开口
92.e122:收料限位件
93.e13:收料握把
94.e14:收料升降板
95.e141:收料让位口
96.e2:收料升降机构
97.e21:第一收料载座
98.e211:第一收料支撑件
99.e212:第二收料支撑件
100.e22:第二收料载座
101.e23:第三收料载座
102.e24:第四收料载座
103.e25:收料驱动单元
104.e251:收料轴杆
105.e252:收料驱动器
106.e253:收料驱动杆
107.f:装卸载装置
108.f1:横梁
109.f11:导杆
110.f12:第一滑座
111.f13:第二滑座
112.f14:第一驱动器
113.f15:第二驱动器
114.f2:装载机构
115.f21:第三驱动器
116.f22:第四驱动器
117.f23:安装座
118.f24:装载座
119.f241:加热件
120.f25:吸嘴
121.f26:弹性件
122.f3:卸载机构
123.f31:第五驱动器
124.f32:卸载座
125.f33:吸嘴
126.g:裁切装置
127.g1:机架
128.g11:支柱
129.g12:横梁
130.g13:滑轨
131.g2:进给机构
132.g21:滑座
133.g22:驱动器
134.g23:驱动杆
135.g3:裁切机构
136.g31:切刀
137.g311:刀刃
138.h:刷扫装置
139.h1:安装架
140.h11:滑轨
141.h12:挡片
142.h2:刷扫升降机构
143.h21:滑座
144.h22:驱动器
145.h23:驱动杆
146.h3:刷扫机构
147.h31:滚刷
148.h311:刷毛
149.h32:驱动器
150.h321:皮带
151.t:辅元件
152.t':辅助元件
153.t1:第一面
154.t2:第二面
155.t3:通孔
156.w:待加工物
157.w':待加工物
158.w1':陶瓷基板
159.w2':胶膜
160.w21':第三面
161.w22':第四面
具体实施方式
162.请参阅图1、2,本发明实施例的裁切方法可以如图所示的裁切设备为例作说明,其设有:
163.一机体a,设有一机台a1与一罩壳a2;
164.一载台装置b,设于该机台a的一台面a11上;
165.一送料仓装置c,设于该机台a上,位于该载台装置b的左侧;
166.一预热装置d,设于该机台a上,位于该送料仓装置c的后侧;
167.一收料仓装置e,设于该机台a上,位于该载台装置b的右侧;
168.一装卸载装置f,设于该罩壳a2上,悬设于该载台装置b、该送料仓装置c与该收料仓装置e的上方;
169.一裁切装置g,设于该装卸载装置f后侧的该台面a11上;
170.一刷扫装置h,设于该裁切装置g的后侧;
171.该罩壳a2设于该机台a1上并罩覆该载台装置b、该送料仓装置c、该预热装置d、该收料仓装置e、该装卸载装置f、该裁切装置g与该刷扫装置h;该罩壳a2开设有一操作区间a21供使用者观察罩壳a2内部与进行预设操作。
172.请参阅图1、2,该载台装置b设有一载台b1供一例如胶膜的薄膜状可挠性的辅助元件t载置,该辅助元件t的面积约略等于该载台b1的一载置面b11的面积,该辅助元件t的下侧设有一第一面t1,该辅助元件t的上侧设有一第二面t2,该辅助元件t借由位于下侧的该第一面t1附着于该载台b1的该载置面b11上;该辅助元件t的厚度介于0.05mm至0.2mm的间,该第一面t1具有粘性可粘附于该载台b1上,该第二面t2不具粘性;该载台b1在该载置面b11上开设有多个矩阵排列并可产生负压吸力的吸孔b111,该辅助元件t上开设有多个矩阵排列并对应所述吸孔b111的通孔t3;
173.该载台装置b设有一呈y轴向设置的轨座b2于该台面a11上,该轨座b2的一端伸经该送料仓装置c与该收料仓装置e的间至该机体a的前侧,另一端伸经该装卸载装置f、该裁切装置g与该刷扫装置h下方至该机体a的后侧;该轨座b2设有一例如线性马达的驱动器b21,可驱动一移动座b22进行y轴向的水平位移;该移动座b22上设有一旋转座b3,该载台b1设于该旋转座b3上并可受其驱动而相对该移动座b22以z轴向为旋转中心进行旋转;
174.该移动座b22上设有一第一遮罩机构b4,其设有一内遮框b41与一外遮框b42;该内遮框b41是由多个片围设于该旋转座b3外周围且位于该载台b1下方的遮片所组成,可保护该旋转座b3不受废料干涉;该外遮框b42是由多个片围设于该内遮框b41外周围的遮片所组成,可保护该轨座b2不受废料干涉;该外遮框b42上缘的高度约略等于该载置面b11的高度,该外遮框b42的前侧开设有一供废料排出该外遮框b42的镂空的排料区间b421;该载台b1进行旋转时,该载台b1是相对该第一遮罩机构b4旋转;该载台b1可受该移动座b22的连动进行y轴向的水平位移,依序在送料仓装置c与该收料仓装置e的间的第一位置、该裁切装置g下方的第二位置及该刷扫装置h下方的第三位置间往复位移。
175.请参阅图2、3,该轨座b2的前端设有一第二遮罩机构b5,其设有一具例如橡胶带的遮带b51,该遮带b51的一端固设于该内遮框b41上,另一端受该机台a1内的一卷收器b52卷收,该遮带b51的一侧受一支撑架b53支撑,并受该支撑架b53上的多个滚轴b531导引;该机台a1的该台面a11上开设有一供废料排落至该机台a1内的镂空的落料区间a111,该支撑架b53伸设于该落料区间a111中;当该载台b1进行水平位移时,该卷收器b52可选择性地释放或卷收该遮带b51,使该遮带b51随着该内遮框b41的移动而遮蔽在该轨座b2上方,可保护该轨座b2不受废料干涉。
176.请参阅图4、5,该送料仓装置c设有一送料拖架c1、一热风机构c2与一送料升降机构c3;
177.该送料拖架c1设有一可相对一送料滑轨c11进行y轴向的拖移的送料拖座c12,并设有可供手执拖移的送料握把c13;该送料拖座c12在z轴向上开设有一镂空的送料拖座开口c121且该送料拖座开口c121周围立设有多个送料限位件c122;该送料拖座c12上设有一送料升降板c14,其设有多个对应所述送料限位件c122的送料让位口c141,并借由所述送料限位件c122穿经所述送料让位口c141而在该送料升降板c14上围设成供一待加工物w存放的区间;该送料拖座c12上设有一呈ㄇ字形的框盒c15,其是由三片围设于所述送料限位件c122外周围的框片所组成;该框盒c15的后侧设有一对应该热风机构c2的镂空的进风区间c151;该框盒c15的内侧设有一滚轮c152;
178.该热风机构c2设于该拖架c1的后侧,其设有一具有多个通孔c211的发热块c21与一风扇c22,该风扇c22可向该发热块c21吹送气体,使气体通过所述通孔c211变成热风后,进入至该框盒c15内对该待加工物w进行初步加热;
179.该送料升降机构c3设于该送料拖架c1的下方,其设有一固定于该台面a11上的第一送料载座c31、一设置于该第一送料载座c31上方并可被驱动而进行z轴向的垂直位移的第二送料载座c32、一设置于该第一送料载座c31下方并可被该第二送料载座c32带动而同时进行z轴向的垂直位移的第三送料载座c33、一设置于该第三送料载座c33下方的第四送料载座c34及一送料驱动单元c35;该第一送料载座c31上方设有多个第一送料支撑件c311,该送料拖架c1受所述第一送料支撑件c311所支撑并与该第一送料载座c31保持预设间距;该第一送料载座c31下方设有多个两端分别固接于该第一送料载座c31与该第四送料载座c34的第二送料支撑件c312;该送料驱动单元c35设有多个穿过该第一送料载座c31且两端分别与该第二送料载座c32及该第三送料载座c33连接的送料轴杆c351、一设置于该第四送料载座c34例如马达的的送料驱动器c352,及一穿设该第一送料载座c31与该第三送料载座c33且两端分别与该送料驱动器c352及该第二送料载座c32连接的送料驱动杆c353;该送料驱动器c352可驱动该送料驱动杆c353并带动该第二送料载座c32,进而利用该第二送料载座c32拉动所述送料轴杆c351以带动该第三送料载座c33,令该第二送料载座c32与该第三送料载座c33同时进行z轴向的垂直位移;该第二送料载座c32在进行垂直位移时,可穿经该送料拖座c12的送料拖座开口c121而带动该送料升降板c14一同进行垂直位移。
180.请参阅图6,该预热装置d设有一加热机构d1与一驱动该加热机构d1进行x、y轴向的水平位移的平移机构d2;
181.该加热机构d1设有一加热座d11,其一侧固定于一座架d12上,另一侧不受支撑地使该加热座d11下方悬空设置;该加热座d11的上表面d111可供该待加工物w放置,该上表面d111上设有多个弧弯且彼此交错的沟槽d112;
182.该平移机构d2设有一驱动进行x轴向的位移的第一驱动单元d21与一驱动进行y轴向的位移的第二驱动单元d22;该加热机构d1设于该第一驱动单元d21上并受其驱动进行x轴向的水平位移,该第一驱动单元d21设于该第二驱动单元d22上并受其驱动进行y轴向的水平位移,在该第一驱动单元d21与该第二驱动单元d22的作用下,该加热机构d1可进行x、y轴向的水平位移,使该加热座d11选择性地移入至该框盒c15的上方或移出离开该框盒c15的上方;当该加热座d11移入至该框盒c15的上方时,该加热座d11的下表面与该滚轮c152接
触并受该滚轮c152支撑。
183.请参阅图7、8,该收料仓装置e设有一收料拖架e1与一收料升降机构e2;
184.该收料拖架e1设有一可相对一收料滑轨e11进行y轴向的拖移的收料拖座e12,并设有可供手执拖移的收料握把e13;该收料拖座e12在z轴向上开设有一镂空的收料拖座开口e121且该收料拖座开口e121周围立设有多个收料限位件e122;该收料拖座e12上设有一收料升降板e14,其设有多个对应所述收料限位件e122的收料让位口e141,并借由所述收料限位件e122穿经所述收料让位口e141在该收料升降板e14上围设成供该待加工物w存放的区间;
185.该收料升降机构e2设于该收料拖架e1的下方,其设有一固定于该台面a11上的第一收料载座e21、一设置于该第一收料载座e21上方并可被驱动而进行z轴向的垂直位移的第二收料载座e22、一设置于该第一收料载座e21下方并可被该第二收料载座e22带动而同时进行z轴向的垂直位移的第三收料载座e23、一设置于该第三收料载座e23下方的第四收料载座e24及一收料驱动单元e25;该第一收料载座e21上方设有多个第一收料支撑件e211,该收料拖架e1受所述第一收料支撑件e211所支撑并与该第一收料载座e21保持预设间距;该第一收料载座e21下方设有多个两端分别固接于该第一收料载座e21与该第四收料载座e24的第二收料支撑件e212;该收料驱动单元e25设有多个穿过该第一收料载座e21且两端分别与该第二收料载座e22及该第三收料载座e23连接的收料轴杆e251、一设置于该第四收料载座e24例如马达的收料驱动器e252,及一穿设该第一收料载座e21与该第三收料载座e23且两端分别与该收料驱动器e252及该第二收料载座e22连接的收料驱动杆e253;该收料驱动器e252可驱动该收料驱动杆e253并带动该第二收料载座e22,进而利用该第二收料载座e22拉动所述收料轴杆e251以带动该第三收料载座e23,令该第二收料载座e22与该第三收料载座e23同时进行z轴向的垂直位移;该第二收料载座e22在进行垂直位移时,可穿经该收料拖座e12的收料拖座开口e121而带动该收料升降板e14一同进行垂直位移。
186.请参阅图1、9,该装卸载装置f设有一横梁f1、一装载机构f2与一卸载机构f3;
187.该横梁f1呈x轴向设置,并以其后侧固定于该罩壳a2上;该横梁f1的前侧设有上、下间隔设置的两个x轴向的导杆f11供一第一滑座f12与一第二滑座f13于上滑移;该第一滑座f12可受设于一例如气缸的第一驱动器f14驱动,在该横梁f1上作x轴向的水平位移;该第二滑座f13可受设于一例如气缸的第二驱动器f15驱动,在该横梁f1上作x轴向的水平位移;
188.该装载机构f2设于该第一滑座f12上并受带动在该送料仓装置c与该载台装置b上方作x轴向的水平位移;该装载机构f2设有一第三驱动器f21与一第四驱动器f22,该第三驱动器f21固设于该第一滑座f12上并可驱动一安装座f23作z轴向的垂直位移,该第四驱动器f22固设于该安装座f23上并可驱动一装载座f24作z轴向的垂直位移,该装载座f24的下表面设有多个具挠性的吸嘴f25;该装载座f24内设有加热件f241使该装载座f24可发热;该安装座f23与该装载座f24的间设有多个弹性件f26;
189.该卸载机构f3设于该第二滑座f13上并受带动在该载台装置b与该收料仓装置e上方作x轴向的水平位移;该卸载机构f3设有一第五驱动器f31可驱动一卸载座f32作z轴向的垂直位移,该卸载座f32的下表面设有多个吸嘴f33。
190.请参阅图1、10,该裁切装置g设有一机架g1、一进给机构g2与一裁切机构g3;
191.该机架g1以两支柱g11与一横梁g12所构成的龙门型式设在该台面a11上,该横梁
g12的前侧设有两个z轴向的滑轨g13;
192.该进给机构g2设有一滑座g21于所述滑轨g13上,并以一例如马达的驱动器g22驱动一驱动杆g23带动该滑座g21进行z轴向的垂直位移;
193.该裁切机构g3设于该滑座g21上,可受该滑座g21带动进行z轴向的垂直位移,使该裁切机构g3的一切刀g31进行直线裁切作业。
194.请参阅图11、12,该刷扫装置h设有一安装架h1、一刷扫升降机构h2与一刷扫机构h3;
195.该安装架h1固设于该机架g1上,该安装架h1的一侧设有两个z轴向的滑轨h11,该安装架h1的下方设有一挡片h12;
196.该刷扫升降机构h2设有一滑座h21于所述滑轨h11上,并以一例如气缸的驱动器h22驱动一驱动杆h23带动该滑座h21进行z轴向的垂直位移;
197.该刷扫机构h3设于该滑座h21上,可受该滑座h21带动进行z轴向的垂直位移;该刷扫机构h3设有一呈y轴向设置并以y轴向为旋转中心进行顺时针旋转的滚刷h31与一驱动该滚刷h31进行旋转的例如马达的驱动器h32;该驱动器h32设于该滚刷h31的上方并借由一皮带h321将驱动力传递至该滚刷h31;该滚刷h31上设有多个根刷毛h311且所述刷毛h311的长度可触及该挡片h12,使该滚刷h31在旋转时,所述刷毛h311上的废料可被该挡片h12刮落,且该挡片h12亦可在滚刷h31旋转时挡止废料朝该机架g1方向抛甩。
198.本发明实施例的裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件在实施上,该待加工物w为未烧结的陶瓷基板,并对该待加工物w进行裁切以修整该待加工物w的边缘使该待加工物w被裁切成预设尺寸的矩形;
199.在该待加工物w尚未被裁切前,是存放于该送料仓装置c中;该送料仓装置c的送料升降板c14上可叠放多个该待加工物w,并借由该热风机构c2对该待加工物w进行初步加热使该待加工物w预先软化;
200.接着该装卸载装置f的该装载机构f2水平位移至该送料仓装置c上方,并使该装载座f24向下位移以所述吸嘴f25吸附该送料仓装置c中的该待加工物w;在所述吸嘴f25吸附该待加工物w后,该装载座f24向上位移将该待加工物w移出该送料仓装置c,并使该待加工物w位移至高于该预热装置d的加热机构d1的高度;
201.在该待加工物w移出该送料仓装置c后,该加热机构d1的该加热座d11受驱动而水平位移至被所述吸嘴f25吸附的该待加工物w的下方,并使该装载座f24向下位移将该待加工物w夹压于该加热座d11的上表面d111与该装载座f24的间,借由对该待加工物w两侧的同时加热,进一步提升该待加工物w的软化程度;
202.在对该待加工物w的两侧同时加热后,该装载机构f2水平位移至该载台装置b上方,且该载台装置b的该载台b1受驱动至第一位置准备接收加热后的该待加工物w;使该装载座f24向下位移至该待加工物w载置于附着在该载台b1上的该辅助元件t的该第二面t2上,并以所述吸孔b111的负压吸力经该辅助元件t的所述通孔t3,对该待加工物w进行吸附以保持该待加工物w在该载台b1上的定位;
203.在该待加工物w定位于该载台b1上后,该载台b1受驱动至第二位置令其上的该待加工物w被该裁切装置g裁切;使该裁切装置g的该裁切机构g3垂直位移,利用该裁切机构g3的该切刀g31对该辅助元件t上的该待加工物w进行裁切;如图13、14、15所示,该切刀g31受
驱动而向下位移至切断该待加工物w,并在切断该待加工物w后停止向下位移且向上复位,使该切刀g31切断该待加工物w但不切断该辅助元件t,当该切刀g31切断该待加工物w时,该切刀g31的一刀刃g311可刚好接触该辅助元件t的该第二面t2或略微切进该辅助元件t;当该切刀g31向下位移切断该待加工物w的一部分后,该载台b1可进行间歇性旋转,在该载台旋转90度后,该切刀g31再向下位移切断该待加工物w的另一部分,如此依序对该待加工物w的四个边缘进行裁切;
204.在该待加工物w被裁切后,该载台b1受驱动至第三位置令其上的该待加工物w被该刷扫装置h刷扫;使该刷扫装置h的该刷扫机构h3向下位移,将该刷扫机构h3的该滚刷h31位移至所述刷毛h311可触及该载台b1的高度;利用该载台b1相对该滚刷h31的水平位移而使裁切后自该待加工物w分离的废料被该滚刷h31扫落该载台b1;
205.在废料被扫落后,该载台b1受驱动再回到该第一位置令其上的该待加工物w被该装卸载装置f移至该收料仓装置e;该装卸载装置f的该卸载机构f3水平位移至该载台装置b上方,并使该卸载座f32向下位移以所述吸嘴f33吸附该载台b1上的该辅助元件t上的该待加工物w;在所述吸嘴f33吸附该待加工物w后,该卸载座f32向上位移将该待加工物w移出该载台装置b,并使该卸载机构f3水平位移至该收料仓装置e上方,使该卸载座f32向下位移将该待加工物w移入该收料仓装置e的该收料升降板e14上。
206.本发明实施例的裁切方法、裁切设备及使用于该裁切方法的辅助元件,提供该辅助元件t在该载台b1与该待加工物w的间,当该切刀g31对该待加工物w进行裁切时,该切刀g31可切断该待加工物w但不会直接触及该载台b1,可减少该切刀g3与该载台b1的损伤;纵使日后需更换该辅助元件t,其相对该切刀g3与该载台b1而言亦具有耗材成本上的优势,且该辅助元件t是附着于该载台b1上,在更换后也不需重新对该切刀g3与该载台b1进行位置校正,相当方便。
207.请参阅图16所示,本发明另一实施例的待加工物w'为一底部粘附一胶膜w2'的未烧结的陶瓷基板w1',该胶膜w2'设有一具粘性的第三面w21'与一不具粘性的第四面w22'于该胶膜w2'的两侧,该陶瓷基板w1'是粘附于该第三面w21'上;如图17所示,在裁切时,切刀g31'切断该陶瓷基板w1'与该胶膜w2'但不切断辅助元件t'。
208.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,当不能以此限定本发明实施的范围,即大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰,皆仍属本发明专利涵盖的范围内。