管式pecvd设备
技术领域
1.本实用新型涉及但不限于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种管式pecvd设备。


背景技术：

2.pecvd(等离子体增强化学气相沉积)广泛应用于太阳能电池的生产。目前用于太阳能电池的镀膜的pecvd设备主要有板式和管式两种。在以往的工艺中，为了追求更高的品质，通常会采用板式pecvd设备，这是因为板式pecvd设备能够采用射频等离子源，而射频等离子源具有频率高、等离子轰击小的优点。使用射频等离子源能够减少等离子体对太阳能电池片的基材(例如硅片)的轰击，提高太阳能电池的品质。
3.然而，由于射频等离子源的导入较困难，而且存在接地端。因此，射频等离子源在pecvd设备建立电场时，通用的方法是一端接地，一端连接电极板，只在接地端或者射频输出端放置基材。因此，板式pecvd设备采用的是平板式载板，基材平摊在载板上。这导致板式pecvd设备不仅占地面积大、而且产能非常低。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少一定程度解决已知的pecvd设备存在的技术问题之一。为此，提出了一种管式pecvd设备，在能够保证产量的同时，提高镀膜质量。
5.根据本实用新型一方面的管式pecvd设备，用于对基材进行镀膜，包括：腔体；射频电源接入部，设置在所述腔体上，具有射频馈入部和接地部，所述射频馈入部的一端和射频电源的发射端连接，所述射频馈入部的另一端伸进所述腔体内，所述接地部的一端和所述射频电源的接地端连接，所述接地部的另一端伸进所述腔体内；载片舟，用于保持所述基材并被送入所述腔体内或者从所述腔体内被送出，所述载片舟包括多个第一导体和多个第二导体，所述第一导体和所述第二导体之间被绝缘，所述基材被保持在所述第一导体和所述第二导体中的其中一个；在被送入所述腔体内的状态下，所述第一导体和所述第二导体中的其中一个，和所述射频馈入部连接，所述第一导体和所述第二导体中的另一个，和所述接地部连接。
6.根据本实用新型一方面的管式pecvd设备，至少具有如下有益效果：由于设置了能够接入射频电源的射频电源接入部，并且配置了能够和射频电源导通的载片舟，因此，在能够发挥管式pecvd的优势保证产量的同时，提高镀膜质量。
7.在一些实施例中，所述射频馈入部和所述接地部分别设置在所述腔体的尾部。
8.在一些实施例中，所述射频馈入部包括：第一电极杆，所述第一电极杆伸进所述腔体内；第二电极杆，设置在所述腔体的外部，所述第二电极杆和所述发射端连接；第一连接部，安装到所述尾部，使所述第一电极杆的轴向的一端的第一端部和所述第二电极杆的轴向的一端的第二端部相互导通，并至少使所述第一端部和所述第二端部被绝缘以及被屏蔽。
9.在一些实施例中，所述第一连接部包括：第一绝缘部，设置为至少对所述第一端部
和所述第二端部进行绝缘；第一安装部，设置在所述第一绝缘部的外部，所述第一连接部通过所述第一安装部安装到所述尾部，并且所述第一安装部至少对所述第一端部和所述第二端部进行屏蔽。
10.在一些实施例中，所述射频馈入部还包括第一绝缘管，所述第一绝缘管容置在所述腔体内，所述第一绝缘管的轴向的一端和所述第一连接部连接，并以使所述第一电极杆的轴向的另一端的第三端部显露出来的方式套住所述第一电极杆。
11.在一些实施例中，所述射频馈入部还包括第一屏蔽管，所述第一屏蔽管套住所述第二电极杆。
12.在一些实施例中，所述载片舟包括底座以及多个托盘，所述托盘间隔设置并被所述底座支撑，各所述托盘分别包括一个所述第一导体和一个所述第二导体。
13.在一些实施例中洪，在各所述托盘中，所述第一导体和所述第二导体之间设置有绝缘介质。
14.在一些实施例中洪，所述绝缘介质包括被夹持在所述第一导体和所述第二导体之间的第七绝缘件。
15.在一些实施例中，所述绝缘介质包括至少在所述第一导体和所述第二导体中的其中一个的表面形成的绝缘层，所述绝缘层和所述第一导体以及所述第二导体中的另一个相对。
16.在一些实施例中，所述载片舟的长度方向的一端，设置有：第一导通部，分别连接所述第一导体和所述第二导体的其中一个，并且，在所述载片舟被送入所述腔体的状态下，和所述射频馈入部连接；第二导通部，分别连接所述第一导体和所述第二导体中的另一个，并且，在所述载片舟被送入所述腔体的状态下，和所述接地部连接。
附图说明
17.图1是本实用新型的管式pecvd设备的一种实施例的立体示意图。
18.图2是射频电源接入部的一种实施例的剖视示意图。
19.图3是图2中的a处的局部放大图。
20.图4是射频电源接入部的另一种实施例的剖视示意图。
21.图5是图4中的b处的局部放大图。
22.图6是图1中的接地部的示意图。
23.图7是图1中的载片舟的一种实施例的立体图。
24.图8是图7中的载片舟的侧视图。
25.图9是图8中的c处的局部放大图。
26.图10是图7中的托盘的一种实施例的俯视方向的示意图。
27.图11是图10中的托盘的仰视方向的示意图。
28.图12是图10的托盘的侧视图。
29.图13是图7中的托盘的另一种实施例的侧视图。
30.图14是图8中的d处的局部放大图。
具体实施方式
31.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
32.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
33.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
34.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
35.图1是管式pecvd设备400的立体示意图，在图1中，为了方便示意，将腔体302局部剖开。参照图1，根据本实用新型一方面的管式pecvd设备400，用于对基材101进行镀膜，包括：腔体302，射频电源接入部408和载片舟200。其中，射频电源接入部408设置在腔体302上，具有射频馈入部300和接地部401，射频馈入部300的一端和射频电源301的发射端309连接，射频馈入部300的另一端伸进腔体302内。接地部401的一端和射频电源301的接地端409连接，接地部401的另一端伸进腔体302内。载片舟200用于保持基材101并被送入腔体302内或者从腔体302内被送出。载片舟200包括多个第一导体102和多个第二导体103，第一导体102和第二导体103之间被绝缘，基材101被保持在第一导体102和第二导体103中的其中一个。在被送入腔体302内的状态下，第一导体102和第二导体103中的其中一个和射频馈入部300连接。第一导体102和第二导体103中的另一个，和接地部401连接。
36.在本实施例中，由于设置了能够接入射频电源301的射频电源接入部408，并且配置了能够和射频电源301导通的载片舟200，因此，在能够发挥管式pecvd的优势、保证产量的同时，提高镀膜质量。
37.具体地，由于在管式pecvd设备400中设置了载片舟200，能够保证载片舟200的装片量。此外，由于载片舟200的第一导体102和第二导体103能够通过射频电源接入部408和射频电源301的发射端309以及接地端409连接，因此能够将射频电源301引入管式pecvd设备400中，从而也能够利用射频等离子源的优点，提高镀膜质量。
38.具体地，基材101(辅助参照图10、图12、图13，用点划线表示)例如可以是能够用作hjt太阳能电池的衬底的呈片状的硅片、玻璃片等。但是并不限定于此，基材101还可以是任意能够在pecvd设备中进行沉积镀膜的部件。
39.具体地，管式pecvd设备400例如可以选择卧式的管式pecvd设备。管式pecvd设备的腔体302的径向的横截面的形状可以但不限于圆形、正方形、长方形、多边形等各种形状。
40.具体地，管式pecvd设备400的其他部件例如进气装置、出气装置、真空装置、加热
装置、推舟装置等，可以使用本领域公知的装置，在此不详细展开说明。
41.在一些实施例中，射频馈入部300和接地部401分别设置在腔体302的尾部304。具体地，为了容易地在尾部304安装射频馈入部300和接地部401，尾部304设置有焊接的门板312，门板312上焊接有例如两个朝外侧延伸的安装法兰313，安装法兰313设置有贯通的电极接入口305，电极接入口305分别连通腔体302的外部和腔体302内的真空腔303。
42.[射频电源接入部408]
[0043]
以下对射频电源接入部408进行详细说明。其中，主要对射频电源接入部408中的射频馈入部300进行详细说明。仅在需要的情况下对接地部401进行说明。
[0044]
图2是射频馈入部300的剖视示意图，图3是图2中的a处的局部放大图。参照图2、图3，并辅助参照图1，射频馈入部300包括：第一电极杆306、第二电极杆307和使第一电极杆306以及第二电极杆307相互导通的第一连接部308。其中，第一电极杆306伸进腔体302内(即真空腔303内)。第二电极杆307设置在腔体302的外部(即真空腔303的外部)，第二电极杆307和射频电源301的发射端309连接。第一连接部308安装到尾部304的电极接入口305，使第一电极杆306的轴向的一端的第一端部310和第二电极杆307的轴向的一端的第二端部311相互导通，并至少使第一端部310和第二端部311被绝缘以及被屏蔽。
[0045]
在本实施例中，射频馈入部300根据射频的趋表传导以及辐射特性，使用了杆状的电极，并使用了第一连接部308在使第一电极杆306以及第二电极杆307导通的同时对其进行绝缘以及屏蔽，不仅能够可靠地将射频电源301引入管式pecvd设备400的腔体302的真空腔303内，而且结构简单。
[0046]
具体地，由于射频电流在导体表面传输，因此通过将射频馈入部300的电极设置为杆状，有利于射频电源301的馈入。在一些实施例中，优选地，第一电极杆306的直径d1和第二电极杆307的直径d2例如分别为30mm以上，即第一电极杆306和第二电极杆307的主体部分的直径例如为30mm以上。此外，由于射频电源301具有辐射特性，通过将第一连接部308设置为在导通第一电极杆306和第二电极杆307的同时，对其进行屏蔽，不仅屏蔽结构可靠，而且结构简单。
[0047]
此外，需要说明的是，作为真空腔303的使用，在各连接位置进行适当的密封以保持真空腔303内的密封性是本领域技术人员的公知。因此，在本实施方式中，当说明一个零件和另一个零件连接时省略了它们之间的密封结构的说明，仅在必要的时候提及。
[0048]
在一些实施例中，为了对第一电极杆306的第一端部310和第二电极杆307的第二端部311进行绝缘并屏蔽，第一连接部308包括：第一绝缘部314和第一安装部315。其中，第一绝缘部314设置为至少对第一端部310和第二端部311进行绝缘。第一安装部315设置在第一绝缘部314的外部(例如套在第一绝缘部314的外部)，第一连接部308通过第一安装部315安装到电极接入口305，并且第一安装部315至少对第一端部310和第二端部311进行屏蔽。
[0049]
例如，在一些实施例中，第一绝缘部314包括第一绝缘件316，第一绝缘件316包裹第一端部310和第二端部311。第一安装部315包括第一法兰屏蔽件317，第一连接部308通过第一法兰屏蔽件317安装到电极接入口305，第一绝缘件316穿设在第一法兰屏蔽件317中。具体地，第一绝缘件316例如呈衬套状。第一电极杆306的第一端部310和第二电极杆307的第二端部311分别插入第一绝缘件316内，并在第一绝缘件316通过例如第三电极导通件320相互连接。由此，第一绝缘件316将第一端部310和第二端部311包裹并使第一端部310和第
二端部311相对于其他零部件(例如第一法兰屏蔽件317)绝缘。第一法兰屏蔽件317选择例如铝合金等能够进行屏蔽的材料。第一法兰屏蔽件317安装到安装法兰313上。第一绝缘件316和安装法兰313之间，设置有第一密封圈318。第一电极杆306的第一端部310容置在安装法兰313内。第一法兰屏蔽件317的轴向的长度设置为至少能够涵盖第二电极杆307的第二端部311的一部分。此外，第一绝缘件316和第一电极杆306(或者第二电极杆307或者第三电极导通件320)之间设置有第二密封圈319。由此，在本实施例中，能够通过一个第一绝缘件316以及一个第一法兰屏蔽件317，容易地对第一电极杆306的第一端部310和第二电极杆307的第二端部311进行绝缘以及屏蔽。
[0050]
图4是射频馈入部300a的剖视示意图，图5是图4中的b处的局部放大图。参照图4、图5，在一些实施例中，为了可靠地导通第一电极杆306以及第二电极杆307，第一连接部308还包括第一电极导通件321，第一电极导通件321分别连接第一端部310和第二端部311。具体地，第一端部310设置有第一螺杆322，第一电极导通件321的一端设置有和第一螺杆322螺纹连接的第一螺纹孔323。第一电极导通件321的另一端设置有锥孔324，与此对应，第二端部311设置有锥台部325，第二端部311的锥台部325可拆卸地插入锥孔324内并和锥孔324紧密贴合。由此，通过使第一电极导通件321的一端和第一电极杆306的第一端部310固定连接，第一电极导通件321的另一端和第二电极杆307的第二端部311可拆卸地紧密贴合，不仅能够可靠地导通第一电极杆306以及第二电极杆307，而且能够使第二电极杆307相对于第一电极杆306容易地拆卸。
[0051]
在一些实施例中，第一绝缘部314包括第二绝缘件326，第二绝缘件326包裹第一端部310。第一安装部315包括第二法兰屏蔽件327，第一连接部308通过第二法兰屏蔽件327安装到电极接入口305。第二绝缘件326穿设在第二法兰屏蔽件327中。具体地，第二绝缘件326呈衬套状，第一端部310插入第二绝缘件326中。第二法兰屏蔽件327安装到安装法兰313，第二绝缘件326的轴向的一端贴合第二法兰屏蔽件327。第一电极导通件321的轴向的中部设置有沿径向突出的环状的凸缘部328，凸缘部328压住第二绝缘件326以使第二绝缘件326贴合第二法兰屏蔽件327。第二绝缘件326的轴向的一端和第二法兰屏蔽件327之间，设置有第三密封圈329。第一电极导通件321的凸缘部328和第二绝缘件326的轴向的一端之间，设置有第四密封圈330。
[0052]
通过如此地设置第二绝缘件326和第二法兰屏蔽件327，能够容易且可靠地安装第一电极杆306。例如，首先从第二法兰屏蔽件327的外侧将第二绝缘件326穿设于第二法兰屏蔽件327中，然后从第二法兰屏蔽件327的内侧将第一电极杆306插入第二绝缘件326中，接着从第二绝缘件326的外侧插入第一电极导通件321，然后通过使第一电极导通件321的第一螺纹孔323和第一电极杆306的第一螺杆322螺纹连接。由此，第一电极杆306和第一电极导通件321能够容易且可靠地锁紧在第二法兰屏蔽件327中。
[0053]
在一些实施例中，为了容易且可靠地紧固第二绝缘件326，第一安装部315还包括第三法兰屏蔽件331，第三法兰屏蔽件331将第二绝缘件326可拆卸地贴合第二法兰屏蔽件327。具体地，第三法兰屏蔽件331压住第二绝缘件326的轴向的一端，并通过例如螺纹锁紧的方式安装到第二法兰屏蔽件327。由此，将第二绝缘件326可靠且容易地贴合第二法兰屏蔽件327。
[0054]
在一些实施例中，在第一电极导通件321设置有凸缘部328的情况下，为了容易地
对凸缘部328的和第二绝缘件326相反的部分进行绝缘，第一绝缘部314还包括第三绝缘件332，第三绝缘件332包裹第一电极导通件321的另一部分。第一安装部315还包括第四法兰屏蔽件333，第四法兰屏蔽件333将第三绝缘件332可拆卸地贴合第一电极导通件321。具体地，第四法兰屏蔽件333压住第三绝缘件332的轴向的一端，并通过例如螺纹锁紧的方式安装到第三法兰屏蔽件331。由此，将第三绝缘件332可靠且容易地贴合第三法兰屏蔽件331。
[0055]
此外，上面虽然以第三法兰屏蔽件331压住第二绝缘件326、第四法兰屏蔽件333压住第三绝缘件332为例进行了说明，但是并非限于此。第二绝缘件326和第三绝缘件332也可以通过同一个法兰屏蔽件(未图示)压紧。
[0056]
在一些实施例中，为了对第二电极杆307的第二端部311进行绝缘，第一绝缘部314还包括第四绝缘件334，第四绝缘件334套在第三绝缘件332的外周，并包裹第二端部311。具体地，第四绝缘件334呈轴环状，第四绝缘件334的轴向的一端套在第三绝缘件332的外周。第四绝缘件334的轴向的另一端包裹第二端部311中的除了插进第一电极导通件321之外的部分。
[0057]
由此，通过第一绝缘部314具有第二绝缘件326、第三绝缘件332以及第四绝缘件334，第一安装部315具有第二法兰屏蔽件327、第三法兰屏蔽件331以及第四法兰屏蔽件333，不仅能够可靠地对第一电极杆306、第二电极杆307以及连接第一电极杆306和第二电极杆307的第一电极导通件321进行绝缘以及屏蔽，并且也容易装配到腔体302的尾部304。例如，可以通过如下的步骤安装第一电极杆306、第二电极杆307以及第一连接部308：
[0058]
s501：从第二法兰屏蔽件327的一侧将第二绝缘件326穿设于第二法兰屏蔽件327中。
[0059]
s502：在第二法兰屏蔽件327的一侧放置第三密封圈329。
[0060]
s503：通过第三法兰屏蔽件331将第二绝缘件326锁紧到第二法兰屏蔽件327中。
[0061]
s504：从第二法兰屏蔽件327的另一侧将第一电极杆306的第一端部310插入第二绝缘件326。
[0062]
s505：在第一电极导通件321的凸缘部328放置第四密封圈330。
[0063]
s506：从第二法兰屏蔽件327的一侧插入第一电极导通件321，使第一电极导通件321和第一电极杆306相互锁紧，由此第一电极导通件321的凸缘部328贴合第二绝缘件326。
[0064]
s507：将第三绝缘件332套到第一电极导通件321的凸缘部328的另一侧。
[0065]
s508：通过第四法兰屏蔽件333压住第三绝缘件332，并将第四法兰屏蔽件333锁紧到第三法兰屏蔽件331。
[0066]
s509：在第二法兰屏蔽件327的另一侧放置第六密封圈335。
[0067]
s510：将第二法兰屏蔽件327锁紧到安装法兰313。
[0068]
s511：将第四绝缘件334套在第三绝缘件332的外周。
[0069]
s512：将第二电极杆307插到第一电极导通件321。
[0070]
由此，不仅能够可靠地对第一电极杆306、第二电极杆307以及连接第一电极杆306和第二电极杆307的第一电极导通件321进行绝缘以及屏蔽，并且也容易安装到腔体302的尾部304。
[0071]
此外，需要说明的是，上面的各步骤只是其中一种，在不矛盾的情况下，一些步骤之间也可以相互调换。
[0072]
在一些实施例中，为了对第一电极杆306进行绝缘，防止其和腔体302的其他部件导通，还包括第一绝缘管336，第一绝缘管336容置在真空腔303内，第一绝缘管336的轴向的一端安装到第二法兰屏蔽件327，并以使第一电极杆306的轴向的另一端的第三端部337显露出来的方式套住第一电极杆306。具体地，第一绝缘管336的内径稍大于第一电极杆306的外径，以使第一绝缘管336和第一电极杆306之间存在间隙。第二法兰屏蔽件327上安装有用于对第一绝缘管336进行定位的定位销(未图示)。第一绝缘管336通过定位销精确地安装到第二法兰屏蔽件327。第三端部337和真空腔303内的例如石墨舟的导体连接，由此，将射频电源301导通到石墨舟上。
[0073]
在一些实施例中，还包括第一屏蔽管338，第一屏蔽管338套住第二电极杆307。具体地，例如在腔体302的尾部304，设置有射频电源301用的公知的匹配器。第二电极杆307的第二端部311和第一电极杆306连接，第二电极杆307的第四端部339和匹配器连接。第一屏蔽管338的轴向的一端套在第四绝缘件334上，第一屏蔽管338的轴向的另一端套在用于对第四端部339进行绝缘的第五绝缘件340上。
[0074]
图6是接地部401的示意图。参照图6并辅助参照图1，以下对接地部401进行简要说明。
[0075]
接地部401具有第一导电件402、第二导电件403以及第二连接部404，其中，第一导电件402伸进真空腔303内，第二导电件403和射频电源301的接地端409连接，第二连接部404使第一导电件402和第二导电件403相互连通。
[0076]
具体地，在本实施例中，第一导电件402同样可以使用例如第一电极杆306一样的杆状件。
[0077]
具体地，第二导电件403只要能够和第一导电件402连通，其性质并不特别限定，例如，第二导电件403可以使用例如第二电极杆307一样的杆状件，也可以选择例如公知的柔性电缆。
[0078]
具体地，第二连接部404只要能够使第一导电件402和第二导电件403连通，其连接方式并不特别限定，例如，第二连接部404也可以包括和第一电极导通件321相类似的第二电极导通件405连接。
[0079]
具体地，第二连接部404可以根据需要，选择和第一连接部308一样的屏蔽结构，或者也可以根据需要只选择绝缘结构。
[0080]
具体地，第二连接部404只要能够对第一导电件402和第二导电件403进行绝缘并容易安装，其绝缘方式并不特别限定，例如，第二连接部404也可以包括具有多个绝缘件的第二绝缘部406，和具有多个安装件的第二安装部407。
[0081]
[载片舟200]
[0082]
图7是载片舟200的一种实施例的立体图，图8是载片舟200的侧视图，图9是图8中的c处的局部放大图，图10是托盘100的示意图，图11是托盘100的仰视方向的示意图，图12是托盘100的侧视图。图13是托盘100a的侧视图,图14是图8中的d处的局部放大图。参照图7至图14，以下对载片舟200的整体结构进行详细说明。
[0083]
参照图7并辅助参照图1，如上所述，载片舟200包括多个第一导体102和多个第二导体103，第一导体102和第二导体103之间被绝缘。在被送入腔体302内的状态下，第一导体102和第二导体103中的其中一个，和射频馈入部300连接。第一导体102和第二导体103中的
另一个，和接地部401连接。
[0084]
在一些实施例中，载片舟200包括底座201以及多个托盘100(参照图10，后述)，托盘100间隔设置并被底座201支撑，各托盘100分别包括一个第一导体102和一个第二导体103。具体地，底座201例如包括两个，分别位于载片舟200的宽度方向(附图中为左右方向)的两侧。底座201沿托盘100的长度方向(附图中为前后方向)延伸。两个底座201分别通过沿底座201的长度方向间隔设置的多根第一连接杆202连接。此外，各底座201的长度方向的两端，分别设置有支撑座203，支撑座203用于使载片舟200整体被支撑在管式pecvd设备400的绝缘杆(未图示)上。
[0085]
参照图9并辅助参照图8，在一些实施例中，为了可靠地保持各托盘100，各相邻的两个托盘100之间设置有第六绝缘件204，第六绝缘件204将相邻的两个托盘100隔开。具体地，载片舟200还包括多根立柱205，多根立柱205的一部分安装在底座201上，沿垂直于底座201的方向(附图中为上下方向)延伸。各托盘100的第一导体102以及第二导体103以及第七绝缘件107(后述)的宽度方向的两侧，分别设置有容许立柱205穿过的安装孔113。由此，各托盘100通过立柱205以及第六绝缘件204而沿垂直于底座201的方向间隔地叠放。第六绝缘件204呈轴套状，套在立柱205上。第六绝缘件204和托盘100交错设置，第六绝缘件204的轴向的两端分别抵接相邻的两个托盘100。由此，第六绝缘件204能够将两个托盘100隔开。第六绝缘件204只要能够可靠地支撑并隔开托盘100，其材料并不特别限定，例如可以选择陶瓷材料。此外，第六绝缘件204的轴向的长度只要能够使两个托盘100之间能够绝缘，并不特别限定。从增加托盘100的数量以整体增加载片舟200的装片量的角度来看，可以选择例如10mm-14mm。
[0086]
另外，上面虽然以载片舟200沿竖直方向间隔设置(即工作状态下大致竖直间隔排布)为例进行了说明，但是并非限定于此。载片舟200也可以参考已知的石墨舟结构，沿水平方向(即工作状态下大致水平间隔排布)间隔设置。
[0087]
[托盘100]
[0088]
继续参照图10至图12，以下对载片舟200的托盘100进行详细说明。
[0089]
在一些实施例中，第一导体102和第二导体103分别呈板状。具体地，作为能够导电的板状的第一导体102和第二导体103的材料，只要能够适用于pecvd设备，并不特别限定，例如可以选择不锈钢等的金属材料、石墨材料、碳纤维材料等。
[0090]
在一些实施例中，为了能够缩小第一导体102和第二导体103之间的距离并进行有效的绝缘，第一导体102和第二导体103之间，设置有绝缘介质106。
[0091]
具体地，例如，绝缘介质106包括被夹持在第一导体102和第二导体103之间的第七绝缘件107。具体地，第七绝缘件107例如呈平板状，第一导体102和第二导体103分别贴合第七绝缘件107的两面。由此，能够通过第一导体102和第二导体103夹持着第七绝缘件107的方式，缩小托盘100的厚度。第七绝缘件107的材料只要能够适用于pecvd设备并能够加工成板状，并不特别限定，例如可以选择玻璃、陶瓷、氧化铝、碳化硅等绝缘材料。
[0092]
此外，基材101被保持在第一导体102和第二导体103中的其中一个，即作为整体，托盘100优选地只在一个导体上保持基材101。因此，为了缩小托盘100的厚度，从而实现在整体上增加托盘100的数量，并进而提高载片舟200的装片量，在能够有效地进行绝缘且保证第七绝缘件107整体的强度的情况下，第七绝缘件107的厚度t1例如为5mm以下，且越薄越
好。这是因为，在利用射频等离子源的时候，由于离子往射频端转移的速度，和离子往接地端409转移的速度不同，这会导致被保持在与发射端309连接的导体(例如第一导体102)的基材101的长绒速度，和被保持在与接地端409的连接的导体(例如第二导体103)的基材101的长绒速度不一致，进而会导致基材101的沉积的膜厚不一致。为了抑制基材101之间的膜厚不一致的问题，基材101优选地被保持在托盘100的其中一个导体上。为此，通过尽可能地减少第七绝缘件107的厚度t1，能够实现整体上缩小托盘100的厚度从而实现在整体上增加托盘100的数量，并进而提高载片舟200的装片量。
[0093]
此外，在一些实施例中，第七绝缘件107至少遮住第一导体102和第二导体103相互相对的一面。具体地，由于为了尽可能缩小托盘100的厚度，使第七绝缘件107的厚度尽可能薄，在此情况下，第一导体102和第二导体103之间的距离很近。在本实施例中，通过将第七绝缘件107设置为至少遮住第一导体102和第二导体103相互相对的一面，能够有效地防止第一导体102和第二导体103之间导通。具体地，例如，第七绝缘件107大致呈长方形的板状。第一导体102包括大致呈长方形状的第一主体部108。第二导体103包括大致呈长方形状的第二主体部109。第一主体部108和第二主体部109夹持着第七绝缘件107。第七绝缘件107的宽度方向(附图中为左右方向)的两侧，分别相对于第一主体部108和第二主体部109的宽度方向(附图中为左右方向)的两侧，向外延伸例如20mm。同样地，第七绝缘件107的长度方向(附图中为前后方向)的两侧，也分别相对于第一主体部108和第二主体部109的长度方向(附图中为前后方向)的两侧，向外延伸例如20mm。由此，第七绝缘件107能够有效地防止第一导体102和第二导体103之间导通。
[0094]
继续参照图13，在一些实施例中，为了进一步缩小托盘100的厚度，绝缘介质106也可以包括绝缘层110，绝缘层110至少在第一导体102和第二导体103中的其中一个的表面形成，并且绝缘层110和第一导体102以及第二导体103中的另一个相对。例如，可以在第一导体102的上表面形成绝缘层110，绝缘层110和第二导体103的下表面相对并贴合。具体地，在能够有效地进行绝缘的情况下，可以在第一导体102的和第二导体103相对的一面(上表面)和/或在第二导体103的和第一导体102相对的一面(下表面)，形成例如陶瓷层、氧化铝层等涂层或者镀层。由此，能够进一步缩小托盘100的厚度。
[0095]
此外，需要说明的是，上面虽然以在第一导体102和第二导体103之间增加绝缘介质106以进行绝缘为例进行了说明，但是并非限定于此。在其他的实施例中，在不需要更多的载片量的情况下，也可以增大第一导体102和第二导体103之间的距离，以使第一导体102和第二导体103之间绝缘。在这种实施例中，尽管相比于在第一导体102和第二导体103之间增加绝缘介质106的方式，在同样的管式pecvd设备400中，载片舟200的载片量只有大致一半左右，但是相比于以往的板式pecvd设备，仍然能够大大提升载片舟200的装片量。
[0096]
继续参照图12、图13，在一些实施例中，为了提高基材101的镀膜效率，第一导体102和发射端309连接，第二导体103和接地端409连接，基材101被保持在第二导体103上。具体地，以一个托盘100为例，第一导体102设置在托盘100的厚度方向(附图中为上下方向)的一侧(附图中为下侧)，并和射频电源301的发射端309连接。第二导体103设置在托盘100的厚度方向的另一侧(附图中为上侧)，并和射频电源301的接地端409连接。第七绝缘件107(存在的情况下)被夹持在第二导体103和第一导体102之间。基材101被保持在和接地端409连接的第二导体103上。由此，能够加快基材101的长绒速度，从而提高基材101的镀膜效率。
[0097]
继续参照图10，在一些实施例中，为了可靠地保持基材101，第二导体103上设置有用于保持基材101的保持部111。保持部111只要能够保持基材101，并不特别限定。例如保持部111可以水平地保持基材101(即基材101以其镀膜面平行于水平方向的方式被送进pecvd设备400的真空腔303内)。此外，保持部111也可以竖直地保持基材101(即基材101以其镀膜面平行于竖直方向的方式被送进pecvd设备400的真空腔303内)，或者保持部111也可以倾斜地保持基材101(即基材101以其镀膜面相对于平行方向或者竖直方向倾斜的方式被送进pecvd设备400的真空腔303内)。
[0098]
在一些实施例中，为了抑制基材101的另一面可能存在的绕镀问题，保持部111水平地保持基材101。具体地，例如，保持部111包括开设在第二导体103上的凹槽112，基材101被水平地保持在凹槽112内。由此，在被水平地保持在凹槽112的状态下，基材101由于其自身的重量，能够可靠地贴合到第二导体103上。从而能够抑制基材101的另一面可能存在的绕镀问题。
[0099]
此外，需要说明的是，在保持部111竖直地保持基材101的情况下，保持部111可以包括安装在第二导体103上的卡点(未图示)，基材101被竖直地保持在卡点上。
[0100]
需要说明的是，上面虽然以托盘100为例说明了第一导体102和第二导体103的设置方式，但是并不限于此。作为载片舟200的其他实施例，也可以将直接将第一导体102和第二导体103间隔设置，以使第一导体102和第二导体103之间相互绝缘，并将基材101保持在其中一个导体上。
[0101]
以下对载片舟200和射频电源接入部408的连接方式进行说明。
[0102]
参照图14并辅助参照图1、图4、图7，在一些实施例中，载片舟200还包括：第一导通部114和第二导通部115。第一导通部114分别连接各托盘100的第一导体102和第二导体103中的其中一个。第二导通部115分别连接托盘100的第一导体102和第二导体103中的另一个。下面以第一导通部114分别连接各托盘100的第一导体102，第二导通部115分别连接各托盘100的第二导体103为例进行说明。此外，由于第一导通部114与第一导体102连接的方式，和第二导通部115与第二导体103连接的方式大致相同，在此主要以第一导通部114与第一导体102连接的方式为例进行说明。
[0103]
另外，需要说明的是，在不以一个托盘100作为一个载片单元的情况下，第一导通部114也是分别连接第一导体102和第二导体103中的其中一个。第二导通部115也是分别连接第一导体102和第二导体103中的另一个。
[0104]
具体地，第一导通部114包括多个第一导电块116以及一个用于和第一电极杆306连接的第二导电块117。第一导体102的长度方向的两侧，分别设置有一个第一凸耳部118，第一凸耳部118和第一主体部108一体成型。相邻的两个托盘100之间，设置有一个第一导电块116，第一导电块116分别连接该两个托盘100的第一导体102。第二导电块117设置在间隔分布的多个托盘100的例如上下方向的中间位置，并将中间位置的多个托盘100的第一导体102分别连通。此外，第二导电块117的一端还设置有例如容许第一电极杆306的第三端部337插入的第一连接孔119。由此，能够只在载片舟200设置一个第一连接孔119，即能够使射频电源301的发射端309和各托盘100的第一导体102连接，简化射频电源301的接入结构。
[0105]
同样地，第二导通部115也包括多个第三导电块120以及一个用于和射频电源301的接地端409连接的第四导电块121。第二导体103的长度方向的两侧也分别设置有一个第
二凸耳部122。第三导电块120以及第四导电块121分别在各第二导体103的第二凸耳部122将各第二导体103连通。同样地，第四导电块121的一端设置有容许第一导电件402插入的第二连接孔123。由此，在载片舟200被送入管式pecvd设备400的状态下，射频电源301的接地端409能够插入第二连接孔123内。
[0106]
在一些实施例中，第一导通部114和第二导通部115分别位于托盘100的长度方向的同一侧。具体地，例如，第一导通部114和第二导通部115分别设置在载片舟200的长度方向的位于管式pecvd设备400的尾部304的一侧(附图中为后侧)。由此，能够实现将射频电源301的发射端309和接地端409分别从管式pecvd设备400的尾部304接入，能够简化射频电源301的接入结构。
[0107]
需要说明的是，上面虽然以第一导通部114和第二导通部115分别设置在托盘100的长度方向的同一侧为例进行了说明，但是并非限定于此。例如第一导通部114和第二导通部115也可以分别设置在托盘100的宽度方向(附图中的左侧或者右侧)的同一侧。
[0108]
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0109]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。