1.本实用新型涉及显微镜架技术领域，具体为一种显微镜架。


背景技术：

2.硅片边缘轮廓检验可以直观的确定硅片边缘和切口是否合适，这种检验适用于日常过程监控，如倒角机的调试、硅片日常质量控制和进货以及硅片出厂检验等。
3.硅片在进行边缘轮廓检验时，需要将硅片放置在光源下，光源照在硅片边缘，ccd相机将硅片边缘或切口的轮廓形状图像导入电脑，通过专用分析软件对监测图像进行分析，然后将轮廓形状的图像和测试结果显示在显示屏上，这种检验方法是无接触和非破坏性的，不仅可以测试硅片边缘和切口形状，还能测量出轮廓尺寸。
4.在使用上述方法对硅片边缘或切口进行检验时，往往需要先将硅片放置在显微镜架上，而现有的显微镜架在盛放不同尺寸的硅片，需要对螺杆螺丝进行调整，才能使硅片更好的与显微镜架贴合，而且在调整好螺杆螺丝后，将不同尺寸的硅片放置在显微镜架上，显微镜焦距会发生改变，此时又需要重新对焦，不仅浪费时间，而且降低了检验效率，所以需要研制一种具有定位快调功能的显微镜架，以解决上述相关问题。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种显微镜架，具备便于快速完成显微镜架调节工作和保证不同尺寸硅片的观察点高度不变的优点，解决了现有显微镜架在盛放不同尺寸硅片时，调节步骤较为繁琐和显微镜架在切换不同尺寸的硅片后，硅片观察点高度会发生变化，从而导致焦距变化的问题。
7.(二)技术方案
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种显微镜架，包括底板，所述底板的顶部设置有硅片架，所述底板的顶部固定连接有连杆，所述连杆的顶端与硅片架的底部固定连接，所述硅片架的内部开设有定位孔，所述定位孔的内部设置有定位钉，所述底板的前侧开设有弧形槽。
9.优选的，所述硅片架以自身中心线为对称轴对称设置，所述硅片架的中心线与底板的中心线位于同一平面内。
10.优选的，所述定位孔包括第一定位孔、第二定位孔、第三定位孔和第四定位孔，在使用显微镜架时，两个定位钉会分别插在硅片架左右两侧的对应同一硅片尺寸的定位孔内。
11.优选的，所述第一定位孔为四英寸硅片定位孔，所述第二定位孔为五英寸硅片定位孔，所述第三定位孔为六英寸硅片定位孔，所述第四定位孔为八英寸硅片定位孔，当将两个定位钉分别插入硅片架左右两侧的对应同一尺寸硅片的定位孔内后，便可以把对应尺寸的硅片放置在硅片架上，此时硅片与硅片架的位置被两个定位钉限制，之后，就可以通过观
测位于弧形槽正上方的硅片边缘形状，来完成硅片边缘轮廓的检验。
12.优选的，所述定位孔的直径为20mm，所述定位钉的直径与定位孔的直径相适应。
13.优选的，所述底板的底部开设有卡槽，底板通常被放置在载台上，载台的顶部设置有连接部，而底板则通过卡槽与连接部连接，显微镜架和载台完成连接定位，此时硅片观察点位于弧形槽的正上方，使得硅片观察点与显微镜头刚好对准。
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种显微镜架，具备以下有益效果：
15.1、该显微镜架，通过底板、硅片架、连杆、定位孔、定位钉和弧形槽之间的相互配合，只需要改变定位钉的位置便可以切换不同尺寸的硅片，并且使放置在硅片架上的不同尺寸硅片的观察点位于同一高度，达到了便于快速完成显微镜架调节工作和保证不同尺寸硅片的观察点高度不变的效果，解决了现有显微镜架在盛放不同尺寸硅片时，调节步骤较为繁琐和显微镜架在切换不同尺寸的硅片后，硅片观察点高度会发生变化，从而导致焦距变化的问题。
16.2、该显微镜架，通过底板、硅片架、连杆、第一定位孔、第二定位孔、第三定位孔、第四定位孔、定位钉、弧形槽和卡槽之间的相互配合，可使用卡槽与载台连接，对显微镜架的位置进行定位，使硅片观察点与显微镜头刚好对准，达到了将显微镜架和载台进行定位，防止显微镜架因意外触碰而偏移的效果，解决了现有显微镜架无法在载台上进行定位，任意接触都会使显微镜聚焦发生偏移，之后便需要重新对焦，降低了检验效率的问题。
附图说明
17.图1为本实用新型正视图；
18.图2为本实用新型侧视图；
19.图3为本实用新型俯视图；
20.图4为本实用新型底视图；
21.图5为本实用新型各尺寸硅片定位同心图。
22.其中：1、底板；2、硅片架；3、连杆；4、定位孔；5、第一定位孔；6、第二定位孔；7、第三定位孔；8、第四定位孔；9、定位钉；10、弧形槽；11、卡槽。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.请参阅图1-5，一种显微镜架，包括底板1，底板1的底部开设有卡槽11，底板1的顶部设置有硅片架2，硅片架2与底板1为倾斜设置，且硅片架2表面平整光滑，所有边缘均为圆角，硅片架2以自身中心线为对称轴对称设置，硅片架2的中心线与底板1的中心线位于同一平面内，底板1的顶部固定连接有连杆3，连杆3的顶端与硅片架2的底部固定连接，连杆3起到了支撑硅片架2的作用，为硅片架提供了支撑力，避免硅片架2变形，硅片架2的内部开设有定位孔4，定位孔4包括第一定位孔5、第二定位孔6、第三定位孔7和第四定位孔8，第一定位孔5、第二定位孔6、第三定位孔7和第四定位孔8的数量均为两个，且均以底板的中心线为
对称轴对称分布。
25.第一定位孔5为四英寸硅片定位孔，第二定位孔6为五英寸硅片定位孔，第三定位孔7为六英寸硅片定位孔，第四定位孔8为八英寸硅片定位孔，定位孔4的直径为20mm，定位钉9的直径与定位孔4的直径相适应，根据说明书附图5各尺寸硅片定位同心图所示，a为八英寸硅片，b为六英寸硅片，c为五英寸硅片，d为四英寸硅片，而a”则对应着第四定位孔8，即八英寸硅片的边缘定位点，b”对应着第三定位孔7，即六英寸硅片的边缘定位点，c”对应着第二定位孔6，即五英寸的边缘定位点，最后d”对应着第一定位孔5，即四英寸硅片的边缘定位点，由第一定位孔5、第二定位孔6、第三定位孔7和第四定位孔8组成了边缘定位台阶，将定位钉9插入定位孔4后，便可以使硅片观察点与显微镜头刚好对准，从而起到了切换硅片，但不改变硅片观察点高度的作用，即无需重新校准焦距，减少了检验操作步骤，节省了时间，提高了检验效率。
26.定位孔4的内部设置有定位钉9，定位钉9与定位孔4非固定连接，定位钉9的数量共有两个，且底板1、硅片架2、连杆3和定位钉9均由304不锈钢制成，底板1的前侧开设有弧形槽10，通过底板1、硅片架2、连杆3、定位孔4、定位钉9和弧形槽10之间的相互配合，只需要改变定位钉9的位置便可以切换不同尺寸的硅片，并且使放置在硅片架2上的不同尺寸硅片的观察点位于同一高度，达到了便于快速完成显微镜架调节工作和保证不同尺寸硅片的观察点高度不变的效果，解决了现有显微镜架在盛放不同尺寸硅片时，调节步骤较为繁琐和显微镜架在切换不同尺寸的硅片后，硅片观察点高度会发生变化，从而导致焦距变化的问题。
27.在对硅片边缘轮廓进行检验时，先通过连接部和卡槽11将底板1与载台连接为一体，当底板1安装完成后，硅片架2上的硅片观察点与显微镜头刚好对准，然后根据待检验的硅片尺寸来确定定位钉9的位置，将定位钉9插入硅片架2左右两侧对应的同一尺寸硅片的定位孔4内，接着将硅片放置在硅片架2上，此时便可以通过cdd相机对硅片边缘轮廓进行检测，而当需要对不同尺寸硅片进行检测时，只需将定位钉9从定位孔4中拔出，然后再插入与新的待检测硅片尺寸相对应的定位孔内，便可以继续对新尺寸硅片的边缘轮廓进行检验，且新尺寸硅片倒角边观察点高度与之前检验的硅片倒角边观察点高度相同，所以无需重新对焦，节省了设备调整时间，提高了检验效率。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。