一种srd甩干机
技术领域
1.本实用新型涉及甩干机技术领域，具体为一种srd甩干机。


背景技术：

2.甩干机是利用离心力的原理设计的，srd甩干机可用于半导体晶片、砷化镓材料、掩膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光盘、医用玻璃基片等类似材料的高洁净度冲洗甩干，在晶圆的甩干作业中，现有的srd甩干机对不同数量的晶圆甩干时，不能对甩干筒内的空间进行调整，当晶圆数量少时，甩干筒内的晶圆在离心力作用下容易在跑向甩干筒顶端再落下，容易对晶圆造成损坏，同时晶圆落料不方便，对晶圆的保护效果不好，因此，设计一种srd甩干机是很有必要的。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种srd甩干机，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种srd甩干机，包括机体，所述机体的内壁底部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过支撑座与甩干筒连接，所述甩干筒的内壁底部设有支撑板，所述支撑板的顶部通过橡胶球与缓冲板连接，所述缓冲板的顶部设有橡胶网板，所述机体的顶部设有进料管，所述进料管的两侧均设有升降气缸，所述升降气缸的输出端伸入到机体内与落料组件连接，驱动电机带动甩干筒转动，进行甩干作业，晶圆通过进料管落入机体内，落料组件的设置方便落料，通过升降气缸推动落料组件下移，根据晶圆的数量调整甩干筒内的空间，防止数量少时的晶圆在离心力作用下甩飞落下时损坏，通过橡胶球、缓冲板和橡胶网板相配合，对晶圆进行缓冲，保护晶圆不受损坏。
5.在进一步的实施例中，所述甩干筒的内壁两侧底部均开设有滑槽，所述支撑板、缓冲板和橡胶网板的两端均位于滑槽内，且支撑板和缓冲板位于滑槽内的两端通过缓冲弹簧连接，通过滑槽的设置使得缓冲板和橡胶网板受到压力时移动稳定，缓冲弹簧的设置方便对压力进行缓冲，对晶圆的保护效果好。
6.在进一步的实施例中，所述支撑板上开设有销孔，所述支撑座底部设有连接销，且连接销一端固定在销孔内，所述支撑板和缓冲板上均开设有与橡胶球相配合的凹槽，通过连接销和销孔相配合，方便支撑板的安装固定，凹槽的设置方便橡胶球的固定。
7.在进一步的实施例中，所述落料组件包括固定在升降气缸输出端底部且与甩干筒内径相配合的安装架，所述安装架中间开设有与进料管相配合的落料口，所述安装架内部中间对称两端均固定有侧板，所述安装架内壁两端均安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端与螺杆连接，且螺杆一端通过轴承座固定在侧板上，所述螺杆上滑动套设有滑块，所述滑块顶底端均通过连接杆与挡料板连接，通过升降气缸推动安装架下移，调整甩干筒内部空间，伺服电机带动螺杆转动，使得滑块通过连接杆带动挡料板水平移动，方便对落料口进行封闭和开启，方便落料。
8.在进一步的实施例中，所述安装架内部位于伺服电机两侧均设有滑杆，所述连接杆滑动套设在滑杆上，所述侧板顶底端均开设有与挡料板相配合的通孔，通过滑杆对连接杆进行限位，保证挡料板移动稳定，通孔的设置方便挡料板的移动。
9.在进一步的实施例中，所述甩干筒的外壁两侧均对称安装有限位杆，所述机体内壁两侧开设有限位槽，且限位杆一端位于限位槽内，通过限位杆和限位槽相配合，对甩干筒进行限位，使得甩干筒旋转过程中稳定。
10.在进一步的实施例中，所述机体的内壁底部设有导水斜板，所述机体的两侧底部均安装有排水管，通过导水斜板方便将水导向排水管并排出。
11.与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：通过升降气缸推动安装架下移，根据晶圆的数量调整甩干筒内的空间，方便落料防止数量少时的晶圆在离心力作用下甩飞落下时损坏；通过伺服电机带动螺杆转动，使得滑块通过连接杆带动挡料板水平移动，方便对落料口进行封闭和开启，方便落料；通过橡胶球、缓冲板和橡胶网板相配合，对晶圆进行缓冲，保护晶圆不受损坏，缓冲弹簧的设置方便对压力进行缓冲，对晶圆的保护效果好。
附图说明
12.图1是本实用新型的整体结构示意图；
13.图2是本实用新型的缓冲板安装结构示意图；
14.图3是本实用新型的落料组件结构示意图；
15.附图标记为：机体1、驱动电机2、支撑座3、甩干筒4、限位杆5、限位槽6、支撑板7、橡胶球8、缓冲板9、橡胶网板10、滑槽11、缓冲弹簧12、连接销13、销孔14、进料管15、升降气缸16、落料组件17、安装架18、侧板19、伺服电机20、螺杆21、滑块22、连接杆23、挡料板24、滑杆25、落料口26、导水斜板27、排水管28。
具体实施方式
16.在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
17.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种srd甩干机，包括机体1、驱动电机2、支撑座3、甩干筒4、限位杆5、限位槽6、支撑板7、橡胶球8、缓冲板9、橡胶网板10、滑槽11、缓冲弹簧12、连接销13、销孔14、进料管15、升降气缸16、落料组件17、安装架18、侧板19、伺服电机20、螺杆21、滑块22、连接杆23、挡料板24、滑杆25、落料口26、导水斜板27和排水管28，驱动电机2安装在机体1的内壁底部，甩干筒4通过支撑座3与驱动电机2的输出端连接，支撑板7设置在甩干筒4的内壁底部，缓冲板9通过橡胶球8与支撑板7的顶部连接，橡胶网板10设置在缓冲板9的顶部，进料管15设置在机体1的顶部，升降气缸16设置在进料管15的两侧，落料组件17与升降气缸16伸入到机体1内的输出端连接，驱动电机2带动甩干筒4转动，进行甩干作业，晶圆通过进料管15落入机体1内，落料组件17的设置方便落料，通过升降气缸16推动落料组件17下移，根据晶圆的数量调整甩干筒4内的空间，防止数量少时的晶圆在
离心力作用下甩飞落下时损坏，通过橡胶球8、缓冲板9和橡胶网板10相配合，对晶圆进行缓冲，保护晶圆不受损坏。
18.进一步的，甩干筒4的内壁两侧底部均开设有滑槽11，支撑板7、缓冲板9和橡胶网板10的两端均位于滑槽11内，且支撑板7和缓冲板9位于滑槽11内的两端通过缓冲弹簧12连接，通过滑槽11的设置使得缓冲板9和橡胶网板10受到压力时移动稳定，缓冲弹簧12的设置方便对压力进行缓冲，对晶圆的保护效果好。
19.进一步的，支撑板7上开设有销孔14，支撑座3底部设有连接销13，且连接销13一端固定在销孔14内，支撑板7和缓冲板9上均开设有与橡胶球8相配合的凹槽，通过连接销13和销孔14相配合，方便支撑板7的安装固定，凹槽的设置方便橡胶球8的固定。
20.进一步的，落料组件17包括固定在升降气缸16输出端底部且与甩干筒4内径相配合的安装架18，安装架18中间开设有与进料管15相配合的落料口26，安装架18内部中间对称两端均固定有侧板19，安装架18内壁两端均安装有伺服电机20，伺服电机20的输出端与螺杆21连接，且螺杆21一端通过轴承座固定在侧板19上，螺杆21上滑动套设有滑块22，滑块22顶底端均通过连接杆23与挡料板24连接，通过升降气缸16推动安装架18下移，调整甩干筒4内部空间，伺服电机20带动螺杆21转动，使得滑块22通过连接杆23带动挡料板24水平移动，方便对落料口26进行封闭和开启，方便落料。
21.进一步的，安装架18内部位于伺服电机20两侧均设有滑杆25，连接杆23滑动套设在滑杆25上，侧板19顶底端均开设有与挡料板24相配合的通孔，通过滑杆25对连接杆23进行限位，保证挡料板24移动稳定，通孔的设置方便挡料板24的移动。
22.进一步的，甩干筒4的外壁两侧均对称安装有限位杆5，机体1内壁两侧开设有限位槽6，且限位杆5一端位于限位槽6内，通过限位杆5和限位槽6相配合，对甩干筒4进行限位，使得甩干筒4旋转过程中稳定。
23.进一步的，机体1的内壁底部设有导水斜板27，机体1的两侧底部均安装有排水管28，通过导水斜板27方便将水导向排水管28并排出。
24.工作原理：驱动电机2带动甩干筒4转动，进行甩干作业，晶圆通过进料管15落入机体1内，通过升降气缸16推动安装架18下移，根据晶圆的数量调整甩干筒4内的空间，方便落料防止数量少时的晶圆在离心力作用下甩飞落下时损坏，伺服电机20带动螺杆21转动，使得滑块22通过连接杆23带动挡料板24水平移动，方便对落料口26进行封闭和开启，方便落料，通过橡胶球8、缓冲板9和橡胶网板10相配合，对晶圆进行缓冲，保护晶圆不受损坏，缓冲弹簧12的设置方便对压力进行缓冲，对晶圆的保护效果好。
25.以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。