1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种退火炉加热机构。
背景技术：
2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，但是现有技术中的退火炉在加热的过程中热量容易发散，导致加热速率较低，并且在内部加热棒损坏后不便于进行更换，导致退火炉使用不便。因此，需要对现有技术进行改进。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于提供一种退火炉加热机构，解决了加热速率较慢与加热棒不便进行更换的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉加热机构，包括炉体，所述炉体的外侧固定连接有真空保温箱，所述真空保温箱的上端的内部固定套接有抽气管，所述抽气管的内部固定连接有两个对称分布的连接柱，两个所述连接柱的内侧共同固定连接有导向管，所述导向管的内部滑动连接有按压杆，所述按压杆的外侧设置有弹簧一，所述按压杆的下端固定连接有密封塞，所述炉体的内部开设有凹槽，所述炉体的内部滑动连接有定位块，所述定位块的内部滑动连接有两个对称分布的固定柱，所述固定柱与所述凹槽滑动连接，所述定位块的内部设置有弹簧二，所述弹簧二的两端分别与两个固定柱固定连接，所述定位块的外侧固定连接有加热棒，所述真空保温箱的下端固定连接有四个均匀分布的支撑腿。
5.优选的，所述固定柱的外侧固定连接有手柄杆，所述手柄杆与所述定位块滑动连接。
6.优选的，所述密封塞与所述抽气管滑动连接，所述密封塞与所述导向管接触。
7.优选的，所述弹簧一的一端与所述连接柱固定连接，所述弹簧一的另一端与所述按压杆固定连接。
8.优选的，所述炉体的内部固定连接有支撑块，所述支撑块与所述加热棒接触。
9.优选的，所述抽气管上通过螺纹连接有管盖，所述真空保温箱上铰接有箱门，所述箱门与所述炉体接触。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.1、本实用新型通过在炉体的外侧加设真空保温箱、密封塞与按压杆等结构，在对炉体内部的原料加热时，可以将真空保温箱内部的空气抽出，使得真空保温箱内部真空，可以对炉体进行有效的保温，从而可以加快炉体内部的升温速率，并且在加热到预定温度后需要自然冷却时，将真空保温箱内部的充入空气，便可加快冷却速度。
12.2、本实用新型通过在加热棒上加设定位块、手柄杆与固定柱等结构，通过固定柱与炉体上的凹槽进行配合对加热棒进行固定，在加热棒损坏后，将固定柱从凹槽的内部移
出便可完成对加热棒的拆卸，从而可以使得加热棒的更换更加方便。
附图说明
13.图1为本实用新型整体结构立体图；
14.图2为本实用新型的图1的正视剖视图；
15.图3为本实用新型的图2的抽气管剖视图；
16.图4为本实用新型的图2的a部结构放大图。
17.图中：1、炉体；2、真空保温箱；3、抽气管；4、连接柱；5、导向管；6、按压杆；7、弹簧一；8、密封塞；9、凹槽；10、定位块；11、固定柱；12、弹簧二；13、手柄杆；14、加热棒；15、支撑块；16、箱门；17、管盖；18、支撑腿。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1-4，一种退火炉加热机构，包括炉体1，炉体1的外侧固定连接有真空保温箱2，真空保温箱2的上端的内部固定套接有抽气管3，抽气管3的内部固定连接有两个对称分布的连接柱4，两个连接柱4的内侧共同固定连接有导向管5，导向管5的内部滑动连接有按压杆6，按压杆6的外侧设置有弹簧一7，按压杆6的下端固定连接有密封塞8，炉体1的内部开设有凹槽9，炉体1的内部滑动连接有定位块10，定位块10的内部滑动连接有两个对称分布的固定柱11，固定柱11与凹槽9滑动连接，定位块10的内部设置有弹簧二12，弹簧二12的两端分别与两个固定柱11固定连接，定位块10的外侧固定连接有加热棒14，真空保温箱2的下端固定连接有四个均匀分布的支撑腿18。
20.请参阅图4，固定柱11的外侧固定连接有手柄杆13，手柄杆13与定位块10滑动连接，可以通过手柄杆13带动固定柱11进行移动。
21.请参阅图4，密封塞8与抽气管3滑动连接，密封塞8与导向管5接触，密封塞8可以对抽气管3进行密封。
22.请参阅图4，弹簧一7的一端与连接柱4固定连接，弹簧一7的另一端与按压杆6固定连接，弹簧一7可以通过弹力带动密封塞8位于抽气管3的内部。
23.请参阅图2，炉体1的内部固定连接有支撑块15，支撑块15与加热棒14接触，支撑块15对加热棒14起支撑作用。
24.请参阅图1，抽气管3上通过螺纹连接有管盖17，真空保温箱2上铰接有箱门16，箱门16与炉体1接触，管盖17可以避免抽气管3漏气。
25.本实用新型具体实施过程如下：在使用时，将管盖17旋下，然后通过真空泵将真空保温箱2内部的空气吸出，然后启动加热棒14对炉体1以及内部进行加热，在真空保温箱2内部的空气被吸出后热量无法从箱体的内部传递出去，可以对炉体1进行保温，从而可以避免在加热的过程中因热量发散而导致加热速率降低，在对炉体1内部原料加热完毕后，将管盖17旋下，然后推动按压杆6，按压杆6带动密封塞8向下移动，当密封塞8脱离抽气管3时，空气
便可进入到真空保温箱2，便可使得真空保温箱2失去保温性，可以使得内部的原料冷却速度增加，使得装置实用性得到增加；
26.在加热棒14损坏后，将箱门16向上翻转，然后同时移动两个手柄杆13，手柄杆13带动固定柱11向脱离凹槽9的方向上进行移动，并压缩弹簧二12，当固定柱11脱离凹槽9时，便可将定位块10与加热棒14取出，将加热棒14更换后将定位块10与加热棒14滑入到炉体1的内部，在滑入的之前按压手柄杆13带动固定柱11滑入到定位块10的内部，并压缩弹簧二12，当定位块10滑入到炉体1的内部后，松开手柄杆13，当固定柱11接触到凹槽9时，弹簧二12复位，弹簧二12通过弹力将固定柱11压入到凹槽9的内部，从而可以方便快捷的完成对加热棒14的更换。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种退火炉加热机构，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的外侧固定连接有真空保温箱(2)，所述真空保温箱(2)的上端的内部固定套接有抽气管(3)，所述抽气管(3)的内部固定连接有两个对称分布的连接柱(4)，两个所述连接柱(4)的内侧共同固定连接有导向管(5)，所述导向管(5)的内部滑动连接有按压杆(6)，所述按压杆(6)的外侧设置有弹簧一(7)，所述按压杆(6)的下端固定连接有密封塞(8)，所述炉体(1)的内部开设有凹槽(9)，所述炉体(1)的内部滑动连接有定位块(10)，所述定位块(10)的内部滑动连接有两个对称分布的固定柱(11)，所述固定柱(11)与所述凹槽(9)滑动连接，所述定位块(10)的内部设置有弹簧二(12)，所述弹簧二(12)的两端分别与两个固定柱(11)固定连接，所述定位块(10)的外侧固定连接有加热棒(14)，所述真空保温箱(2)的下端固定连接有四个均匀分布的支撑腿(18)。2.根据权利要求1所述的一种退火炉加热机构，其特征在于：所述固定柱(11)的外侧固定连接有手柄杆(13)，所述手柄杆(13)与所述定位块(10)滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种退火炉加热机构，其特征在于：所述密封塞(8)与所述抽气管(3)滑动连接，所述密封塞(8)与所述导向管(5)接触。4.根据权利要求1所述的一种退火炉加热机构，其特征在于：所述弹簧一(7)的一端与所述连接柱(4)固定连接，所述弹簧一(7)的另一端与所述按压杆(6)固定连接。5.根据权利要求1所述的一种退火炉加热机构，其特征在于：所述炉体(1)的内部固定连接有支撑块(15)，所述支撑块(15)与所述加热棒(14)接触。6.根据权利要求1所述的一种退火炉加热机构，其特征在于：所述抽气管(3)上通过螺纹连接有管盖(17)，所述真空保温箱(2)上铰接有箱门(16)，所述箱门(16)与所述炉体(1)接触。
技术总结
本实用新型属于退火炉领域，具体涉及一种退火炉加热机构，包括炉体，所述炉体的外侧固定连接有真空保温箱，所述真空保温箱的上端的内部固定套接有抽气管，所述抽气管的内部固定连接有两个对称分布的连接柱，两个所述连接柱的内侧共同固定连接有导向管，所述导向管的内部滑动连接有按压杆。本实用新型通过在炉体的外侧加设真空保温箱、密封塞与按压杆等结构，在对炉体内部的原料加热时，可以将真空保温箱内部的空气抽出，使得真空保温箱内部真空，可以对炉体进行有效的保温，从而可以加快炉体内部的升温速率，并且在加热到预定温度后需要自然冷却时，将真空保温箱内部的充入空气，便可加快冷却速度。加快冷却速度。加快冷却速度。
技术研发人员：曹珺
受保护的技术使用者：苏州超弦新材料有限公司
技术研发日：2021.08.20
技术公布日：2022/2/11