本发明公开了一种用于校验伽利略扩束器内透镜间距的方法及装置,包括:输入出射光束半径,所述出射光束半径为经伽利略扩束器后作用于对象表面的光束半径;根据校验规则计算得出透镜理论间距;调整透镜的实际间距,对比出射光束实际半径等于输入半径。
本发明根据伽利略扩束器的工作原理进行校验,确定伽利略扩束器的工作状态,进一步的浮动调整透镜间距,使得光束经过伽利略扩束器能够以最优口径作用于打孔对象的表面。
孙博文 李入作 杨世晗 陈亮 沈磊 吴晓雯
江苏中烟工业有限责任公司
210019 江苏省南京市建邺区兴隆大街29号技术中心钟楼
本发明公开了一种用于校验伽利略扩束器内透镜间距的方法及装置,包括:输入出射光束半径,所述出射光束半径为经伽利略扩束器后作用于对象表面的光束半径;根据校验规则计算得出透镜理论间距;调整透镜的实际间距,对比出射光束实际半径等于输入半径。
本发明根据伽利略扩束器的工作原理进行校验,确定伽利略扩束器的工作状态,进一步的浮动调整透镜间距,使得光束经过伽利略扩束器能够以最优口径作用于打孔对象的表面。