本申请公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元,载板处理单元包括:与工作腔(4)连通的附加腔体(10);用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。
本申请提供的载板处理单元,通过在附加腔体内设置处理装置,并使得附加腔体连通工作腔。
由于工作腔设置在工艺腔前,通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体,有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔,避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上,确保了镀膜效果;避免了开腔处理的操作,提高了镀膜效率。
杨斌
君泰创新(北京)科技有限公司
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本申请公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元,载板处理单元包括:与工作腔(4)连通的附加腔体(10);用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。
本申请提供的载板处理单元,通过在附加腔体内设置处理装置,并使得附加腔体连通工作腔。
由于工作腔设置在工艺腔前,通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体,有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔,避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上,确保了镀膜效果;避免了开腔处理的操作,提高了镀膜效率。