本申请公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元，载板处理单元包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。
本申请提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。
由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。

杨斌

君泰创新(北京)科技有限公司

100176 北京市大兴区亦庄经济技术开发区荣华南路9号院2号楼10层

本申请公开了一种双面镀膜设备及其载板处理单元，载板处理单元包括：与工作腔(4)连通的附加腔体(10)；用于将所述工作腔(4)内的载板(1)移至所述附加腔体(10)的处理装置(101)。
本申请提供的载板处理单元，通过在附加腔体内设置处理装置，并使得附加腔体连通工作腔。
由于工作腔设置在工艺腔前，通过处理装置将工作腔内的载板移至附加腔体，有效避免了具有碎片的载板进入工艺腔，避免碎片落到工艺腔的下镀膜装置上，确保了镀膜效果；避免了开腔处理的操作，提高了镀膜效率。