公开一种辐射屏障和组件以及包括该辐射屏障的反应器。
该辐射屏障能够用于控制来自基座加热器组件的热通量并且由此使得能够更好地控制跨过衬底表面的温度，该衬底被放置在基座加热器组件的表面上。

M·范巴斯

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荷兰阿尔梅勒

公开一种辐射屏障和组件以及包括该辐射屏障的反应器。
该辐射屏障能够用于控制来自基座加热器组件的热通量并且由此使得能够更好地控制跨过衬底表面的温度，该衬底被放置在基座加热器组件的表面上。