本发明公开了一种电子级硫酸的生产方法，属于电子化学品生产技术领域。
该生产方法包括常温吸收转化、负压低温蒸发、低温吸收和增温脱气步骤，其中常温吸收转化为将炉气中的三氧化硫通过浓硫酸吸收得发烟硫酸，然后将发烟硫酸用过氧化氢水溶液氧化转化；其中负压低温蒸发为利用蒸发纯化装置在低于50℃的低温热水为加热介质的情况下，使三氧化硫气体在液体不吐沸的情况下蒸发出来；其中低温吸收为在低温下用超纯水或超纯硫酸吸收；增温脱气为在稍高于常温的温度下脱除液体内气体的过程。
该生产方法能够在得到高品质电子级硫酸并保证产量和效率的同时，保证操作的安全性。

林益兴 王琴

联仕(昆山)化学材料有限公司

215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇汶浦中路66号

本发明公开了一种电子级硫酸的生产方法，属于电子化学品生产技术领域。
该生产方法包括常温吸收转化、负压低温蒸发、低温吸收和增温脱气步骤，其中常温吸收转化为将炉气中的三氧化硫通过浓硫酸吸收得发烟硫酸，然后将发烟硫酸用过氧化氢水溶液氧化转化；其中负压低温蒸发为利用蒸发纯化装置在低于50℃的低温热水为加热介质的情况下，使三氧化硫气体在液体不吐沸的情况下蒸发出来；其中低温吸收为在低温下用超纯水或超纯硫酸吸收；增温脱气为在稍高于常温的温度下脱除液体内气体的过程。
该生产方法能够在得到高品质电子级硫酸并保证产量和效率的同时，保证操作的安全性。