本发明涉及一种质子交换领域，特别是涉及一种新型质子交换反应炉及使用方法，包括水平旋转的玻璃容器、晶圆夹具和晶圆片，所述玻璃容器内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具沿所述玻璃容器内壁轴向活动设置于该玻璃容器内，所述晶圆片横向嵌设于所述晶圆夹具内，且该晶圆片大面均与所述质子交换反应溶液接触，添加自动匀速搅拌装置，提高反应均匀性，使反应环境平衡，并提高晶圆片与溶液的接触面，保证产品一致性，使反应可控性强，操作简便。

罗海荣 刘华成

重庆鹰谷光电股份有限公司

400000 重庆市南岸区经开区丹龙路7号E幢

本发明涉及一种质子交换领域，特别是涉及一种新型质子交换反应炉及使用方法，包括水平旋转的玻璃容器、晶圆夹具和晶圆片，所述玻璃容器内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具沿所述玻璃容器内壁轴向活动设置于该玻璃容器内，所述晶圆片横向嵌设于所述晶圆夹具内，且该晶圆片大面均与所述质子交换反应溶液接触，添加自动匀速搅拌装置，提高反应均匀性，使反应环境平衡，并提高晶圆片与溶液的接触面，保证产品一致性，使反应可控性强，操作简便。