本发明公开了用于铌酸锂基声表面波器件的水冷平台，水冷平台包括由上至下依次设置的上盖板、热电偶支撑层、隔板、散热层和下基板，水冷平台包括设置在中心的聚焦区和设置在聚焦区外围的外围区；热电偶支撑层上设有与聚焦区对应设置的聚焦区热电偶和与外围区对应设置的外围区热电偶，外围区热电偶及聚焦区热电偶通过导线口与外部的控制电路电连接以用于监测聚焦区及外围区的温度；外围区冷液口与聚焦区冷液口与外部的供水装置连接，散热层上设有位于聚焦区的聚焦循环通道和位于外围区的外围循环通道。
分别对聚焦区与外围区进行循环冷却，并且其聚焦区循环通路与外围区循环通路相对独立，不会相互影响，有效避免由于铌酸锂去遇见温差大而导致芯片断。

赵雷 牛鹏飞

天津大学

300072 天津市南开区卫津路92号

本发明公开了用于铌酸锂基声表面波器件的水冷平台，水冷平台包括由上至下依次设置的上盖板、热电偶支撑层、隔板、散热层和下基板，水冷平台包括设置在中心的聚焦区和设置在聚焦区外围的外围区；热电偶支撑层上设有与聚焦区对应设置的聚焦区热电偶和与外围区对应设置的外围区热电偶，外围区热电偶及聚焦区热电偶通过导线口与外部的控制电路电连接以用于监测聚焦区及外围区的温度；外围区冷液口与聚焦区冷液口与外部的供水装置连接，散热层上设有位于聚焦区的聚焦循环通道和位于外围区的外围循环通道。
分别对聚焦区与外围区进行循环冷却，并且其聚焦区循环通路与外围区循环通路相对独立，不会相互影响，有效避免由于铌酸锂去遇见温差大而导致芯片断。