本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。
涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。
涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。
控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。

谷义则 冈本俊一 伊藤俊文 铃木晓雄

东丽工程株式会社

日本东京都

本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。
涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。
涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。
控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。