本发明公开了一种用于三寸晶圆贴蜡的方法，在恒温加热台上放置一块陶瓷盘，然后开启恒温加热台，设定温度为60℃，当陶瓷盘的温度升至设定温度时保持恒温一段时间，用蜡棒在陶瓷盘上涂蜡；把尺寸大小为三寸的晶圆放置于蜡层上，将恒温加热台升温至80℃；用无尘纸团按压三寸晶圆并在上下左右四个方向进行移动；用无尘纸团按压三寸晶圆的圆心位置并以圆心为中心点绕圆心打圈；重复步骤S3‑S4，直至气泡直径小于1mm；用抽真空装置抽吸三寸晶圆上的剩余气泡；将陶瓷盘放置于贴蜡机的冷却板上，使用具有冷却加压的功能的贴蜡机加压0.25MPA。
本发明将研磨晶圆尺寸提升至三寸，从而可以提升后续工序的效率，极大提升整体生产效率。

王忠远 袁超 万远涛

浙江光特科技有限公司 重庆电子工程职业学院

312000 浙江省绍兴市袍江群贤路与中兴大道东南角一楼107室

本发明公开了一种用于三寸晶圆贴蜡的方法，在恒温加热台上放置一块陶瓷盘，然后开启恒温加热台，设定温度为60℃，当陶瓷盘的温度升至设定温度时保持恒温一段时间，用蜡棒在陶瓷盘上涂蜡；把尺寸大小为三寸的晶圆放置于蜡层上，将恒温加热台升温至80℃；用无尘纸团按压三寸晶圆并在上下左右四个方向进行移动；用无尘纸团按压三寸晶圆的圆心位置并以圆心为中心点绕圆心打圈；重复步骤S3‑S4，直至气泡直径小于1mm；用抽真空装置抽吸三寸晶圆上的剩余气泡；将陶瓷盘放置于贴蜡机的冷却板上，使用具有冷却加压的功能的贴蜡机加压0.25MPA。
本发明将研磨晶圆尺寸提升至三寸，从而可以提升后续工序的效率，极大提升整体生产效率。