本发明涉及超声检测技术领域，具体为一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，该超声换能器芯片由下至上依次包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，所述压电层对应顶电极外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽。
所述环形隔离槽深度小于等于压电层和底电极的高度和。
所述支撑层包括基底层，基底层上设有停止层，停止层上设有弹性层，所述基底层的底部向上开设有空腔。
所述空腔贯穿或不贯穿基底层。
本申请的约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，能够释放换能器振动系统的固定约束，减小残余应力，进而增大换能器的振动幅度，增大有用信号输出，增大换能器的灵敏度，解决现有技术存在的振动幅度小，灵敏度低等问题。

牟笑静 周雪梅 易拥洁 蔡贵祥 黄河

重庆大学

400044 重庆市沙坪坝区正街174号

本发明涉及超声检测技术领域，具体为一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，该超声换能器芯片由下至上依次包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，所述压电层对应顶电极外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽。
所述环形隔离槽深度小于等于压电层和底电极的高度和。
所述支撑层包括基底层，基底层上设有停止层，停止层上设有弹性层，所述基底层的底部向上开设有空腔。
所述空腔贯穿或不贯穿基底层。
本申请的约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，能够释放换能器振动系统的固定约束，减小残余应力，进而增大换能器的振动幅度，增大有用信号输出，增大换能器的灵敏度，解决现有技术存在的振动幅度小，灵敏度低等问题。