本发明涉及静电电容式微机械超声换能器(CMUT)，其包括：基板；上部电极，与所述基板隔开配置；绝缘性的支撑部，结合于所述基板与所述上部电极的边缘部之间，以便固定并支撑所述上部电极的边缘部，并且在所述基板与所述上部电极之间限定出空隙；多个纳米柱，其两端固定并结合于所述空隙内的所述基板及所述上部电极上，当对所述上部电极施加电源时，所述多个纳米柱能够沿长度方向压缩及拉伸，以使所述上部电极至少进行上下移动。

李炳喆 崔里诺 李活

韩国科学技术研究院 仁荷大学校产学协力团 首尔大学医学院

韩国首尔

本发明涉及静电电容式微机械超声换能器(CMUT)，其包括：基板；上部电极，与所述基板隔开配置；绝缘性的支撑部，结合于所述基板与所述上部电极的边缘部之间，以便固定并支撑所述上部电极的边缘部，并且在所述基板与所述上部电极之间限定出空隙；多个纳米柱，其两端固定并结合于所述空隙内的所述基板及所述上部电极上，当对所述上部电极施加电源时，所述多个纳米柱能够沿长度方向压缩及拉伸，以使所述上部电极至少进行上下移动。