本发明公开了一种多频自聚焦微机械超声换能器,包括二种以上频率的振元,相同频率的振元组成一个振元阵列;任一所述的振元阵列由至少一组圆环状排列的振元组成,所述振元阵列的圆环中心相互重合;并且任一所述的振元所处圆环半径由公式(1)确定。
本发明的微机械超声换能器采用环形阵列结构,通过设计MUT阵列器件振元以及其在器件上的分布,在单一MUT器件上实现了多频和自聚焦的功能。
何野 徐波 徐方良
江苏英特神斯科技有限公司
210032 江苏省南京市浦口区高新技术产业开发区丽新路19号英特神斯科技园
本发明公开了一种多频自聚焦微机械超声换能器,包括二种以上频率的振元,相同频率的振元组成一个振元阵列;任一所述的振元阵列由至少一组圆环状排列的振元组成,所述振元阵列的圆环中心相互重合;并且任一所述的振元所处圆环半径由公式(1)确定。
本发明的微机械超声换能器采用环形阵列结构,通过设计MUT阵列器件振元以及其在器件上的分布,在单一MUT器件上实现了多频和自聚焦的功能。