| 1 |
具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器 |
CN201821722097.7 |
2018-10-23 |
授权 |
| 2 |
电容式射频微机电开关的系统和操作方法 |
CN201780079840.3 |
2017-12-21 |
审查中-实审 |
| 3 |
微机械超声换能器与制造和设计微机械超声换能器的方法 |
CN201910133708.7 |
2019-02-22 |
审查中-实审 |
| 4 |
一种双谐振模式耦合的微机械压电超声波换能器 |
CN201920774655.2 |
2019-05-28 |
授权 |
| 5 |
一种压电微机械超声换能器 |
CN201921612582.3 |
2019-09-26 |
有效专利 |
| 6 |
一种多频自聚焦微机械超声换能器 |
CN202010042311.X |
2020-01-15 |
审查中-实审 |
| 7 |
用于高密度微机电系统的方法和装置 |
CN201680046712.4 |
2016-09-02 |
有效专利 |
| 8 |
一种多电极CMUT单元及多频式电容微机械超声换能器 |
CN201811214608.9 |
2018-10-18 |
有效专利 |
| 9 |
基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备 |
CN202010306292.7 |
2020-04-17 |
审查中-实审 |
| 10 |
压电微机械超声换能器和换能器阵列 |
CN201780011467.8 |
2017-02-24 |
审查中-实审 |
| 11 |
设计和制造包含微机械元件阵列的器件的方法、所述方法结束时获得的器件 |
CN201980009223.5 |
2019-01-18 |
审查中-实审 |
| 12 |
压电微机械超声换能器背衬结构 |
CN202010810942.1 |
2020-08-13 |
审查中-实审 |
| 13 |
用于镜筒定位的微机电系统装置 |
CN201780014709.9 |
2017-03-03 |
有效专利 |
| 14 |
微机械元件 |
CN200380010227.4 |
2003-03-21 |
无效专利 |
| 15 |
一种微机械设备的制备方法 |
CN202010975172.6 |
2020-09-16 |
审查中-实审 |
| 16 |
微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法 |
CN201710307929.2 |
2017-05-04 |
有效专利 |
| 17 |
微机电传感器和电子设备 |
CN202020082152.1 |
2020-01-14 |
有效专利 |
| 18 |
微机电设备和微型投影仪装置 |
CN201922237308.9 |
2019-12-13 |
有效专利 |
| 19 |
一种带有感测机构的微机电装置 |
CN202021074729.0 |
2020-06-11 |
有效专利 |
| 20 |
流体微机电系统 |
CN201680079441.2 |
2016-04-19 |
有效专利 |
| 21 |
微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压 |
CN201780026534.3 |
2017-04-27 |
审查中-实审 |
| 22 |
具有固定的内部区域的微机电麦克风 |
CN201680058133.1 |
2016-07-15 |
发明公开 |
| 23 |
微机械的构件和同时围绕两个彼此倾斜的转动轴线调节能够调节的部件的方法 |
CN201710368339.0 |
2017-05-23 |
审查中-实审 |
| 24 |
一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构 |
CN201811196917.8 |
2018-10-15 |
审查中-实审 |
| 25 |
一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构 |
CN201811196468.7 |
2018-10-15 |
审查中-实审 |
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