本发明公开了一种电容式微纳超声换能器及其制备方法。
该电容式微纳超声换能器包括：衬底；凹槽阵列，包括多个阵列式排布的凹槽，该凹槽形成容置空间，设置于衬底的上表面；下电极板，设置于凹槽阵列的容置空间之内；上电极板，设置于凹槽阵列之上，并与衬底的上表面接触连接；下电极引线，贯穿衬底，并与凹槽阵列中的下电极板接触连接；上电极引线，贯穿于衬底上不具有凹槽阵列的区域，并与上电极板电性连接。
本发明提供的该电容式微纳超声换能器及其制备方法，具有工艺简单、垂直引线减少寄生电容及互连电阻、封装气密性好、易与电路芯片实现三维堆叠集成的优点，可提高系统的性能和可靠性。

张萌 韩国威 司朝伟 宁瑾 杨富华

中国科学院半导体研究所

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

本发明公开了一种电容式微纳超声换能器及其制备方法。
该电容式微纳超声换能器包括：衬底；凹槽阵列，包括多个阵列式排布的凹槽，该凹槽形成容置空间，设置于衬底的上表面；下电极板，设置于凹槽阵列的容置空间之内；上电极板，设置于凹槽阵列之上，并与衬底的上表面接触连接；下电极引线，贯穿衬底，并与凹槽阵列中的下电极板接触连接；上电极引线，贯穿于衬底上不具有凹槽阵列的区域，并与上电极板电性连接。
本发明提供的该电容式微纳超声换能器及其制备方法，具有工艺简单、垂直引线减少寄生电容及互连电阻、封装气密性好、易与电路芯片实现三维堆叠集成的优点，可提高系统的性能和可靠性。