本公开涉及用于校准超声键合机的方法。
第一键合机包括第一超声换能器。
第二键合机包括第二超声换能器和电源。
该方法包括：由第一机械阻尼抑制第一超声换能器；向第一超声换能器提供第一校准电力，第一校准电力引起第一超声换能器在被第一机械阻尼抑制时以第一校准幅度振荡；向第二超声换能器提供第二校准电力，其中第二校准电力被配置为引起第二超声换能器在被与第一机械阻尼相同的第二机械阻尼抑制时以与第一校准幅度相同的第二校准幅度振荡。
第二键合机被适配为：基于第一校准电力的第一电参数和第二校准电力的第二电参数来修改第二控制信号以生成经修改的第二控制信号；将经修改的第二控制信号提供给电源以引起第二电源生成第二电力。

F·伊科克 M·查恩塔 S·托费恩科

英飞凌科技股份有限公司

德国诺伊比贝尔格

本公开涉及用于校准超声键合机的方法。
第一键合机包括第一超声换能器。
第二键合机包括第二超声换能器和电源。
该方法包括：由第一机械阻尼抑制第一超声换能器；向第一超声换能器提供第一校准电力，第一校准电力引起第一超声换能器在被第一机械阻尼抑制时以第一校准幅度振荡；向第二超声换能器提供第二校准电力，其中第二校准电力被配置为引起第二超声换能器在被与第一机械阻尼相同的第二机械阻尼抑制时以与第一校准幅度相同的第二校准幅度振荡。
第二键合机被适配为：基于第一校准电力的第一电参数和第二校准电力的第二电参数来修改第二控制信号以生成经修改的第二控制信号；将经修改的第二控制信号提供给电源以引起第二电源生成第二电力。