本发明提供确保防水性且能高精度进行收发控制的超声波器件、超声波模块、电子设备及超声波测量装置。
超声波器件(22)具备：元件基板(41)；超声波换能器阵列(50)，设于元件基板(41)的背面(41A)，阵列配置有多个超声波换能器(51)；电极线(414C)，在元件基板(41)的背面(41A)与超声波换能器(51)连接，并且，在从法线方向观察元件基板(41)的平面观察中被引出至超声波换能器阵列(50)外侧的端子区域；密封板(42)，与元件基板(41)的背面(41A)侧接合；及贯通电极(422)，在密封板(42)的与超声波换能器阵列(50)相对的区域外侧且与电极线(414C)的电极垫(414P)相对的位置上沿厚度方向贯通密封板(42)而与电极垫(414P)电连接。

清濑摄内 桥元伸晃

精工爱普生株式会社

日本东京

本发明提供确保防水性且能高精度进行收发控制的超声波器件、超声波模块、电子设备及超声波测量装置。
超声波器件(22)具备：元件基板(41)；超声波换能器阵列(50)，设于元件基板(41)的背面(41A)，阵列配置有多个超声波换能器(51)；电极线(414C)，在元件基板(41)的背面(41A)与超声波换能器(51)连接，并且，在从法线方向观察元件基板(41)的平面观察中被引出至超声波换能器阵列(50)外侧的端子区域；密封板(42)，与元件基板(41)的背面(41A)侧接合；及贯通电极(422)，在密封板(42)的与超声波换能器阵列(50)相对的区域外侧且与电极线(414C)的电极垫(414P)相对的位置上沿厚度方向贯通密封板(42)而与电极垫(414P)电连接。