本发明涉及检测表示超声波换能器尤其是超声波换能器的振动元件的温度的方法。
所述超声波换能器具有谐振频率(fr)。
所述方法包括以下步骤:用电测量信号在高于谐振频率的测量频率(fm)下运行所述超声波换能器,在所述测量频率(fm)下检测所述超声波换能器的复阻抗的绝对值,以及在其后,将表示超声波换能器的振动元件的温度的期望值确定为所述测量频率下所述超声波换能器的所述复阻抗的经检测的绝对值的函数。
埃格伯特·施皮格尔
艾尔默斯半导体股份公司
德国多特蒙德
本发明涉及检测表示超声波换能器尤其是超声波换能器的振动元件的温度的方法。
所述超声波换能器具有谐振频率(fr)。
所述方法包括以下步骤:用电测量信号在高于谐振频率的测量频率(fm)下运行所述超声波换能器,在所述测量频率(fm)下检测所述超声波换能器的复阻抗的绝对值,以及在其后,将表示超声波换能器的振动元件的温度的期望值确定为所述测量频率下所述超声波换能器的所述复阻抗的经检测的绝对值的函数。