公开了一种换能器阵列(10)，其包括多个CMUT单元(100、100、100”)，每个CMUT单元包括第一电极(110)和第二电极(120)，所述第一电极由基板(101)支撑，所述第二电极由悬挂在所述第一电极与所述第二电极之间的腔体(105)上的膜支撑，所述多个CMUT单元包括：第一组CMUT单元(100)，其中的每个CMUT单元均具有包括第一层堆叠(130)的膜；以及第二组CMUT单元(100')，其中的每个CMUT单元均具有包括第二层堆叠(130')的膜，所述第二层堆叠包括具有比所述第一层堆叠中的层中的任何层更高密度的材料层(135)。
还公开了包括这种换能器阵列的设备、包括这种换能器阵列的超声成像系统以及操作这种超声成像系统的方法。

S·舒列波夫 P·H·M·蒂默曼斯 P·迪克森

皇家飞利浦有限公司

荷兰艾恩德霍芬

公开了一种换能器阵列(10)，其包括多个CMUT单元(100、100、100”)，每个CMUT单元包括第一电极(110)和第二电极(120)，所述第一电极由基板(101)支撑，所述第二电极由悬挂在所述第一电极与所述第二电极之间的腔体(105)上的膜支撑，所述多个CMUT单元包括：第一组CMUT单元(100)，其中的每个CMUT单元均具有包括第一层堆叠(130)的膜；以及第二组CMUT单元(100')，其中的每个CMUT单元均具有包括第二层堆叠(130')的膜，所述第二层堆叠包括具有比所述第一层堆叠中的层中的任何层更高密度的材料层(135)。
还公开了包括这种换能器阵列的设备、包括这种换能器阵列的超声成像系统以及操作这种超声成像系统的方法。