本发明公开了一种具有蝶形振动薄膜的微机电压电式超声波换能器。
换能器的结构包括基底、弹性结构层、下电极、压电层和上电极。
换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。
本发明在弹性结构层采用锚端结构，将振动薄膜的外形设计为圆形和扇环的组合，提高了换能器整体柔度，在有限的面积内降低了换能器的谐振工作频率；增大了换能器的有效工作面积，提高了换能器的发射声压，提高了工作带宽和灵敏度。

谢金 朱可 陈旭颖 杨邓飞 屈梦娇

浙江大学

310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

本发明公开了一种具有蝶形振动薄膜的微机电压电式超声波换能器。
换能器的结构包括基底、弹性结构层、下电极、压电层和上电极。
换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。
本发明在弹性结构层采用锚端结构，将振动薄膜的外形设计为圆形和扇环的组合，提高了换能器整体柔度，在有限的面积内降低了换能器的谐振工作频率；增大了换能器的有效工作面积，提高了换能器的发射声压，提高了工作带宽和灵敏度。