一种牢固安装的谐振器结构包括多层声反射器结构和布置在第一电极结构和第二电极结构之间以形成有源区的压电材料层,其中所述声反射器结构提供声学振动的剪切模式和纵向模式的增强反射。
所述牢固安装的谐振器结构构造成转换包含纵向分量和剪切分量的声波。
所述声反射器结构包括多个顺次布置的差分声阻抗层单元,每个差分声阻抗层单元包括与高声阻抗材料层接触的低声阻抗材料层。
对应于纵向响应的第二谐波共振的最小透射率的频率与对应于剪切响应的第三谐波共振的最小透射率的频率基本匹配。
R.莫尔顿 J.贝尔西克
QORVO美国公司
美国北卡罗来纳州
一种牢固安装的谐振器结构包括多层声反射器结构和布置在第一电极结构和第二电极结构之间以形成有源区的压电材料层,其中所述声反射器结构提供声学振动的剪切模式和纵向模式的增强反射。
所述牢固安装的谐振器结构构造成转换包含纵向分量和剪切分量的声波。
所述声反射器结构包括多个顺次布置的差分声阻抗层单元,每个差分声阻抗层单元包括与高声阻抗材料层接触的低声阻抗材料层。
对应于纵向响应的第二谐波共振的最小透射率的频率与对应于剪切响应的第三谐波共振的最小透射率的频率基本匹配。