在更换液体时抑制向容器内过量补充液体的情况。
一种液体循环装置，其特征在于，包括：容器(31)，其贮存药液；蚀刻装置(20)，其利用药液来处理基板(10)；第一泵(41)，其将容器(31)内的药液供给至蚀刻装置(20)；第二泵(42)，其将蚀刻装置(20)用过的药液供给至容器(31)；液位传感器(53)，其检测到容器(31)内的药液的液位变得低于预先规定的高度，弹簧(33)，其通过随着容器(31)内的药液的量减少，使容器(31)上升，从而抑制容器(31)内的药液的液位低于液位传感器(53)。

寺尾裕介

夏普株式会社

日本国大阪府堺市堺区匠町1番地

在更换液体时抑制向容器内过量补充液体的情况。
一种液体循环装置，其特征在于，包括：容器(31)，其贮存药液；蚀刻装置(20)，其利用药液来处理基板(10)；第一泵(41)，其将容器(31)内的药液供给至蚀刻装置(20)；第二泵(42)，其将蚀刻装置(20)用过的药液供给至容器(31)；液位传感器(53)，其检测到容器(31)内的药液的液位变得低于预先规定的高度，弹簧(33)，其通过随着容器(31)内的药液的量减少，使容器(31)上升，从而抑制容器(31)内的药液的液位低于液位传感器(53)。