本申请涉及基板清洗设备，包括支撑基板的工作台；第一移动装置，可沿第一方向移动；第一扫描装置，设于第一移动装置上，可在移动过程中向第二方向发射横向扫描线进行横向扫描以确定存在颗粒的扫描区域；第二移动装置，可在当前横向扫描线正上方沿第二方向移动，第二扫描装置，设于第二移动装置上，可在移动过程中对垂直于基板进行纵向扫描以对颗粒进行定位；激光粉碎装置，对颗粒进行激光粉碎。
通过设置第一扫描装置和第二扫描装置，能对基板上的颗粒精准定位，并利用激光粉碎装置粉碎颗粒，能对基板进行有效的清洗。
本申请还涉及适用于上述清洗设备的清洗方法。

陈荣龙

惠科股份有限公司

518101 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋，九州阳光1号厂房5、7楼

本申请涉及基板清洗设备，包括支撑基板的工作台；第一移动装置，可沿第一方向移动；第一扫描装置，设于第一移动装置上，可在移动过程中向第二方向发射横向扫描线进行横向扫描以确定存在颗粒的扫描区域；第二移动装置，可在当前横向扫描线正上方沿第二方向移动，第二扫描装置，设于第二移动装置上，可在移动过程中对垂直于基板进行纵向扫描以对颗粒进行定位；激光粉碎装置，对颗粒进行激光粉碎。
通过设置第一扫描装置和第二扫描装置，能对基板上的颗粒精准定位，并利用激光粉碎装置粉碎颗粒，能对基板进行有效的清洗。
本申请还涉及适用于上述清洗设备的清洗方法。