在一实施例中，一种晶圆清洁系统包括：晶圆支撑件、喷嘴、挡板以及挡板致动器。
前述晶圆支撑件是配置以固定晶圆。
前述喷嘴是配置以在前述喷嘴处于配送的启动状态时，配送液体或气体于前述晶圆上。
前述挡板是配置以在前述挡板位于前述喷嘴下方的第一位置时，接住来自前述喷嘴的前述液体。
前述挡板致动器是配置以：因应前述喷嘴处于非启动状态，移动前述挡板至前述第一位置；因应前述喷嘴处于前述启动状态，移动前述挡板至远离前述第一位置的第二位置。
还提供了一种晶圆清洁方法。

王翠薇 蔡永豊 彭垂亚

台湾积体电路制造股份有限公司

中国台湾新竹市

在一实施例中，一种晶圆清洁系统包括：晶圆支撑件、喷嘴、挡板以及挡板致动器。
前述晶圆支撑件是配置以固定晶圆。
前述喷嘴是配置以在前述喷嘴处于配送的启动状态时，配送液体或气体于前述晶圆上。
前述挡板是配置以在前述挡板位于前述喷嘴下方的第一位置时，接住来自前述喷嘴的前述液体。
前述挡板致动器是配置以：因应前述喷嘴处于非启动状态，移动前述挡板至前述第一位置；因应前述喷嘴处于前述启动状态，移动前述挡板至远离前述第一位置的第二位置。
还提供了一种晶圆清洁方法。