本发明的包覆切削工具的硬质皮膜，相对于金属(包括半金属)元素的总量，含有70原子％以上且80原子％以下的Al，20原子％以上且30原子％以下的Ti，相对于金属元素(包括半金属)和非金属元素的总量，含有0.50原子％以下的Ar。
硬质皮膜具有fcc结构的TiN(111)面、TiN(200)面、TiN(220)面、hcp结构的AlN(100)面、AlN(002)面的衍射峰，且TiN(200)面的衍射峰示出最大强度，其次，TiN(111)面引起的衍射峰的强度大。
硬质皮膜的平均晶体粒径为5nm以上且50nm以下，截面观察中的圆当量直径1.0μm以上的颗粒在每100μm

佐佐木智也

株式会社MOLDINO

日本东京

本发明的包覆切削工具的硬质皮膜，相对于金属(包括半金属)元素的总量，含有70原子％以上且80原子％以下的Al，20原子％以上且30原子％以下的Ti，相对于金属元素(包括半金属)和非金属元素的总量，含有0.50原子％以下的Ar。
硬质皮膜具有fcc结构的TiN(111)面、TiN(200)面、TiN(220)面、hcp结构的AlN(100)面、AlN(002)面的衍射峰，且TiN(200)面的衍射峰示出最大强度，其次，TiN(111)面引起的衍射峰的强度大。
硬质皮膜的平均晶体粒径为5nm以上且50nm以下，截面观察中的圆当量直径1.0μm以上的颗粒在每100μm