在本发明的抛光方法中使用圆板状的抛光垫(1)。
在抛光垫(1)的圆板的轴向上,抛光面(10)侧的周面(111)是向抛光面(10)缩径的倾斜面。
由周面(111)和抛光面(10)形成的角度为125°以上且小于180°。
抛光垫(1)的、根据在JIS K7312:1996的附录2“弹簧硬度试验类型C试验方法”中规定的试验方法测量的、加压面刚刚紧贴之后的硬度为40以上。
将含有磨粒的浆料向比抛光面(10)大的被抛光面供给,使抛光面(10)抵靠于被抛光面,并使抛光垫(1)运动,从而对被抛光面进行抛光。
镰田透 片山浩二 森永均 堀部贵史
福吉米株式会社
日本爱知县
在本发明的抛光方法中使用圆板状的抛光垫(1)。
在抛光垫(1)的圆板的轴向上,抛光面(10)侧的周面(111)是向抛光面(10)缩径的倾斜面。
由周面(111)和抛光面(10)形成的角度为125°以上且小于180°。
抛光垫(1)的、根据在JIS K7312:1996的附录2“弹簧硬度试验类型C试验方法”中规定的试验方法测量的、加压面刚刚紧贴之后的硬度为40以上。
将含有磨粒的浆料向比抛光面(10)大的被抛光面供给,使抛光面(10)抵靠于被抛光面,并使抛光垫(1)运动,从而对被抛光面进行抛光。