一种悬浮液,其特征在于,含有磨粒、二醇和水,磨粒的平均粒径是120nm以下,所述悬浮液的pH为4.0以上且小于8.0。一种研磨方法,具备使用所述悬浮液研磨金属的工序。
大内真弓
日立化成株式会社
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