四氯化硅氢化炉U形发热体及其制造工艺,本发明之四氯化硅氢化炉U形发热体由坯体、基体和表面碳化硅涂层构成,所述坯体由二维碳纤维织物叠层或准三维针刺碳纤维毡体构成,重量不低于产品总重量的50%;所述基体由浸渍碳和化学气相沉积碳组成,其中化学气相沉积碳的含量不大于坯体和基体总重量的30%;发热体材料密度≥1.3g/cm
蒋建纯 张弛 张新万 吕国平 陈志军 蒋立志
蒋建纯
410100 湖南省长沙市国家级长沙经济技术开发区漓湘路98号H栋湖南南方搏云新材料有限责任公司
四氯化硅氢化炉U形发热体及其制造工艺,本发明之四氯化硅氢化炉U形发热体由坯体、基体和表面碳化硅涂层构成,所述坯体由二维碳纤维织物叠层或准三维针刺碳纤维毡体构成,重量不低于产品总重量的50%;所述基体由浸渍碳和化学气相沉积碳组成,其中化学气相沉积碳的含量不大于坯体和基体总重量的30%;发热体材料密度≥1.3g/cm