储存和分配例如用于生产微电子器件产品的高纯度液体试剂和化学机械抛光成分的物质的包装和方法，包括适于高纯度液体的压力分配的保存结构和方法。
披露了液体或含液体介质的衬包装方法，其中利用零液面上空间或者近零液面上空间来最小化颗粒产生、气泡形成和所装物质降解的不利影响。

格伦·M·汤姆 约翰·R·金格里 凯文·T·奥多尔蒂 柯克·米克尔森 米凯莱·阿尔贝里 约瑟夫·门宁 严宏伟

高级技术材料公司

美国康涅狄格州

储存和分配例如用于生产微电子器件产品的高纯度液体试剂和化学机械抛光成分的物质的包装和方法，包括适于高纯度液体的压力分配的保存结构和方法。
披露了液体或含液体介质的衬包装方法，其中利用零液面上空间或者近零液面上空间来最小化颗粒产生、气泡形成和所装物质降解的不利影响。