本发明公开了一种流体供应系统，所述流体供应系统适于流体的真空及压力循环，所述流体供应系统包括适于在真空下向过程容器罐供应从大容量容器罐抽吸的流体，其中流体从转移容器运送到过程容器罐以正压力来实现。
还公开了一种运送流体的方法，包括以下步骤：在真空下从大容量容器罐抽吸流体；和对转移容器加压以实现流体分配到过程容器罐中以用于运送到使用位置。

乔丹·霍奇斯 理查德·D·奇兹姆 米切尔·W·麦克费龙 唐纳德·D·韦尔 格伦·M·汤姆

恩特格里斯公司

美国马萨诸塞州

本发明公开了一种流体供应系统，所述流体供应系统适于流体的真空及压力循环，所述流体供应系统包括适于在真空下向过程容器罐供应从大容量容器罐抽吸的流体，其中流体从转移容器运送到过程容器罐以正压力来实现。
还公开了一种运送流体的方法，包括以下步骤：在真空下从大容量容器罐抽吸流体；和对转移容器加压以实现流体分配到过程容器罐中以用于运送到使用位置。