本实用新型提供一种药液供给系统。
该系统包括药液储存装置，与药液储存装置连接将药液输送给刻蚀槽的输送管路，与所述药液储存装置连通的液位计量器，其中，所述液位计量器为透明材质的中空管，其一个管口与所述药液储存装置的下半部连通使得所述液位计量器与所述药液储存装置形成连通器，所述液位计量器的外表面上设置有刻度。
本实用新型所述的药液供给系统，可监测气动阀中的截流片的状况。

徐会 何悦 荣道兰 杨保平

尚德太阳能电力有限公司 无锡尚德太阳能电力有限公司

201112 中国上海市闵行区浦江镇立跃路1888号

本实用新型提供一种药液供给系统。
该系统包括药液储存装置，与药液储存装置连接将药液输送给刻蚀槽的输送管路，与所述药液储存装置连通的液位计量器，其中，所述液位计量器为透明材质的中空管，其一个管口与所述药液储存装置的下半部连通使得所述液位计量器与所述药液储存装置形成连通器，所述液位计量器的外表面上设置有刻度。
本实用新型所述的药液供给系统，可监测气动阀中的截流片的状况。