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专利摘要

本发明涉及一种基于电磁超表面的无电磁扰动可控温原子气室,原子气室的第一表面及与其相对的第四表面为等效相对介电常数为1的透波电磁超表面;第二表面及与其相对的第五表面为具有理想电导体特性(PEC)的表面;第三表面及与其相对的第六表面为具有理想磁导体特性(PMC)的电磁超表面;在第一表面上集成有温度监测用热敏元件,通过在该第一表面外接直流电流源和比例‑积分‑微分(PID)控制模块实现原子气室的温度控制,所述直流电流源对该第一表面的金属部分加热,所述PID控温模块通过热敏元件的反馈实时温度数据对原子气室表面温度进行反馈控制。
本发明还提供了这种原子气室的加工工艺流程。

专利状态

基础信息

专利号
CN201910674681.2
申请日
2019-07-25
公开日
2021-07-27
公开号
CN110389136B
主分类号
/B/B81/ 作业;运输
标准类别
微观结构技术
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

宋振飞 屈继峰 穆慧慧 邹海洋 张杰

申请人

中国计量科学研究院

申请人地址

100013 北京市朝阳区北三环东路18号

专利摘要

本发明涉及一种基于电磁超表面的无电磁扰动可控温原子气室,原子气室的第一表面及与其相对的第四表面为等效相对介电常数为1的透波电磁超表面;第二表面及与其相对的第五表面为具有理想电导体特性(PEC)的表面;第三表面及与其相对的第六表面为具有理想磁导体特性(PMC)的电磁超表面;在第一表面上集成有温度监测用热敏元件,通过在该第一表面外接直流电流源和比例‑积分‑微分(PID)控制模块实现原子气室的温度控制,所述直流电流源对该第一表面的金属部分加热,所述PID控温模块通过热敏元件的反馈实时温度数据对原子气室表面温度进行反馈控制。
本发明还提供了这种原子气室的加工工艺流程。

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