| 1 |
扭矩传感器及其制造方法 |
CN202010920299.8 |
2020-09-04 |
审查中-实审 |
| 2 |
一种嵌入式微纳传感器及其制备方法 |
CN201910529092.5 |
2019-06-18 |
发明公开 |
| 3 |
一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法 |
CN201910519350.1 |
2019-06-17 |
审查中-实审 |
| 4 |
一种旋转结构的制备方法以及旋转结构 |
CN202010054927.9 |
2020-01-17 |
有效专利 |
| 5 |
一种解耦式双框架微陀螺 |
CN202010910335.2 |
2020-09-02 |
审查中-实审 |
| 6 |
微机电设备、微机电设备的阵列、制造微机电设备的方法以及操作微机电设备的方法 |
CN201710307929.2 |
2017-05-04 |
有效专利 |
| 7 |
一种微机械设备的制备方法 |
CN202010975172.6 |
2020-09-16 |
审查中-实审 |
| 8 |
MEMS麦克风 |
CN201980032203.X |
2019-05-14 |
审查中-实审 |
| 9 |
MEMS声音传感器、MEMS麦克风及电子设备 |
CN201880026695.7 |
2018-12-29 |
审查中-实审 |
| 10 |
微机电传感器和电子设备 |
CN202020082152.1 |
2020-01-14 |
有效专利 |
| 11 |
一种适用于微构件表面的减摩织构 |
CN202020650106.7 |
2020-04-26 |
有效专利 |
| 12 |
低成本低应力真空封装MEMS传感器 |
CN202020189667.1 |
2020-02-20 |
有效专利 |
| 13 |
可减小由电容边缘效应导致的电容-位移之间的非线性的栅结构 |
CN202010969373.5 |
2020-09-15 |
审查中-实审 |
| 14 |
基于各向异性摩擦电纳米发电机的角度传感器及制造方法 |
CN202010992307.X |
2020-09-21 |
审查中-实审 |
| 15 |
MEMS芯片及MEMS传感器 |
CN202010774685.0 |
2020-08-04 |
有效专利 |
| 16 |
一种质量离散化的MEMS器件抗冲击结构 |
CN202020647545.2 |
2020-04-26 |
有效专利 |
| 17 |
面向微加工的竖直稳定加载对称型微悬臂设计及应用方法 |
CN201910316977.7 |
2019-04-19 |
审查中-实审 |
| 18 |
MEMS芯片结构 |
CN201711481331.1 |
2017-12-29 |
有效专利 |
| 19 |
一种解耦式微陀螺 |
CN202010910320.6 |
2020-09-02 |
审查中-实审 |
| 20 |
一种热电位移动促动器结构 |
CN202011048897.7 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 21 |
RF开关的腿和锚中的电流处理 |
CN201680066443.8 |
2016-11-14 |
审查中-实审 |
| 22 |
MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表 |
CN202020385451.2 |
2020-03-24 |
有效专利 |
| 23 |
一种金刚石氮空位色心的量子压力传感器及制备方法 |
CN201910570946.4 |
2019-06-28 |
有效专利 |
| 24 |
镜装置、镜的驱动方法、光照射装置和图像取得装置 |
CN201780024766.5 |
2017-03-16 |
有效专利 |
| 25 |
一种高精度防腐耐油硅压传感器 |
CN201922453033.2 |
2019-12-31 |
有效专利 |
| 26 |
具有粘附促进剂的用于电子器件的无机包封剂 |
CN202010598119.9 |
2020-06-28 |
审查中-实审 |
| 27 |
一种MEMS电容式开关及电子设备 |
CN202020916623.4 |
2020-05-26 |
有效专利 |
| 28 |
基于双悬空结构的可调红外热辐射器件 |
CN202020840698.9 |
2020-05-19 |
有效专利 |
| 29 |
MEMS压力传感器 |
CN202021966328.6 |
2020-09-10 |
有效专利 |
| 30 |
一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法 |
CN202010511487.5 |
2020-06-08 |
有效专利 |
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