本申请提供一种光学直角反射镜及其制造方法，该方法用于在单晶硅基片上制造光学直角反射镜，该方法包括：在基片的表面形成蚀刻掩模，所述蚀刻掩模具有使所述基片的表面露出的开口，所述基片是单晶硅片；对形成有蚀刻掩模的所述基片进行湿法腐蚀，以形成刻槽，所述刻槽至少具有相互垂直的两侧壁，两个所述侧壁是硅(110)晶面，并且两个所述侧壁与所述基片表面夹角为45°；以及在所述刻槽的两个所述侧壁覆盖光反射层，以在所述刻槽中形成直角反射镜。
根据本申请的方法制造直角反射镜，其光学质量好、精度高、体积小、成本低，并且可以方便制造阵列式的多槽直角反射镜，从而获得较大面积的直角反射镜。

吴亚明 翟雷应 徐静

上海新微技术研发中心有限公司

201800 上海市嘉定区城北路235号3号楼

本申请提供一种光学直角反射镜及其制造方法，该方法用于在单晶硅基片上制造光学直角反射镜，该方法包括：在基片的表面形成蚀刻掩模，所述蚀刻掩模具有使所述基片的表面露出的开口，所述基片是单晶硅片；对形成有蚀刻掩模的所述基片进行湿法腐蚀，以形成刻槽，所述刻槽至少具有相互垂直的两侧壁，两个所述侧壁是硅(110)晶面，并且两个所述侧壁与所述基片表面夹角为45°；以及在所述刻槽的两个所述侧壁覆盖光反射层，以在所述刻槽中形成直角反射镜。
根据本申请的方法制造直角反射镜，其光学质量好、精度高、体积小、成本低，并且可以方便制造阵列式的多槽直角反射镜，从而获得较大面积的直角反射镜。