本发明公开一种微流道散热器的制备方法，包括步骤：制作微流道板，使微流道板具有若干沿其长度方向贯穿其的微流道孔；提供底板，在底板上开设一个十字形凹槽，并使凹槽距离较窄的相对两侧之间距离与微流道板宽度相匹配；将微流道板贴于凹槽中，并使微流道板的宽度方向两侧与凹槽的距离较窄的相对两侧分别抵接，同时使微流道板的微流道孔两端与凹槽的相对的两个侧壁之间分别形成空腔，并使微流道板上表面高于底板的上表面；提供材质与底板材质相同的盖板，将盖板通过密封胶贴于底板上，在底板或盖板上间隔开设两个通孔，使两个通孔分别与其中一个空腔连通。
本发明可制得厚度薄、具有高效散热效果的微流道散热器，并能提高微流道散热器的生产良率。

罗绍根 杨斌 崔成强

广东佛智芯微电子技术研究有限公司

528225 广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A107室

本发明公开一种微流道散热器的制备方法，包括步骤：制作微流道板，使微流道板具有若干沿其长度方向贯穿其的微流道孔；提供底板，在底板上开设一个十字形凹槽，并使凹槽距离较窄的相对两侧之间距离与微流道板宽度相匹配；将微流道板贴于凹槽中，并使微流道板的宽度方向两侧与凹槽的距离较窄的相对两侧分别抵接，同时使微流道板的微流道孔两端与凹槽的相对的两个侧壁之间分别形成空腔，并使微流道板上表面高于底板的上表面；提供材质与底板材质相同的盖板，将盖板通过密封胶贴于底板上，在底板或盖板上间隔开设两个通孔，使两个通孔分别与其中一个空腔连通。
本发明可制得厚度薄、具有高效散热效果的微流道散热器，并能提高微流道散热器的生产良率。