固定框(2)固定于外部的构件。
超声波振荡部(3)配置于固定框(2)内，由具有挠性的第1基板和通过在第1基板上形成薄膜而成的第1压电元件形成，该超声波振荡部(3)在第1压电元件的伸缩的作用下挠曲，产生超声波。
驱动器部(4)由将第1基板和固定框(2)之间连接起来且具有挠性的第2基板和通过在第2基板上形成薄膜而成的第2压电元件形成，该驱动器部(4)在第2压电元件的伸缩的作用下挠曲，使超声波振荡部(3)相对于固定框(2)摆动。
固定框(2)、第1基板以及第2基板由同一个基板形成。

绪方健治 黑木省吾

第一精工株式会社

日本京都府

固定框(2)固定于外部的构件。
超声波振荡部(3)配置于固定框(2)内，由具有挠性的第1基板和通过在第1基板上形成薄膜而成的第1压电元件形成，该超声波振荡部(3)在第1压电元件的伸缩的作用下挠曲，产生超声波。
驱动器部(4)由将第1基板和固定框(2)之间连接起来且具有挠性的第2基板和通过在第2基板上形成薄膜而成的第2压电元件形成，该驱动器部(4)在第2压电元件的伸缩的作用下挠曲，使超声波振荡部(3)相对于固定框(2)摆动。
固定框(2)、第1基板以及第2基板由同一个基板形成。