本发明提供了一种远紫外激光诱发原子氧装置及方法，所述远紫外激光诱发原子氧装置包括：脉冲激光器，用于输出紫外激光束；供氧单元，用于输出氧气；真空室，所述脉冲激光器和所述供氧单元均设于所述真空室外部；喷嘴，设于所述真空室内部，且所述喷嘴与所述供氧单元相连通；控制器，与所述脉冲激光器和所述供氧单元电连接，用于控制所述紫外激光束与所述氧气同步射入所述喷嘴内。
利用本发明提供的装置获得的原子氧束流的能量达到5eV，束流中原子氧纯度大于95％，束流密度达到1016atom﹒cm‑2﹒s‑1以上，具有极强的加速试验能力，大大提高了原子氧地面模拟试验和评价结果的可信度和准确性，且降低成本。

刘勇 耿洪滨 吕钢 耿晨曦 张翰兴

哈尔滨工业大学

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

本发明提供了一种远紫外激光诱发原子氧装置及方法，所述远紫外激光诱发原子氧装置包括：脉冲激光器，用于输出紫外激光束；供氧单元，用于输出氧气；真空室，所述脉冲激光器和所述供氧单元均设于所述真空室外部；喷嘴，设于所述真空室内部，且所述喷嘴与所述供氧单元相连通；控制器，与所述脉冲激光器和所述供氧单元电连接，用于控制所述紫外激光束与所述氧气同步射入所述喷嘴内。
利用本发明提供的装置获得的原子氧束流的能量达到5eV，束流中原子氧纯度大于95％，束流密度达到1016atom﹒cm‑2﹒s‑1以上，具有极强的加速试验能力，大大提高了原子氧地面模拟试验和评价结果的可信度和准确性，且降低成本。